第一篇：二硫磺清洗總結

二硫磺裝置FeS鈍化清洗

工作總結

淄博吉泰工貿有限公司 二○一○年三月

二硫磺裝置FeS鈍化清洗工作總結

一、煉油裝置進行FeS 鈍化清洗的目的

煉油廠在煉制含硫原油時，常減壓蒸餾裝置、催化裂化裝置、重油加工裝置、加氫裝置、氣體分離、脫硫等裝置會產生大量的FeS，FeS吸附在煉油廠的設備和管道上，裝置正常操作時不會帶來大的問題，但在停工打開設備時，FeS與空氣中的氧接觸能發生強氧化還原反應并放出大量的熱,熱量積累后引發自燃，造成火災和爆炸事故，大多數煉油廠都有過地表設備或內部設備發生FeS 自燃的經歷。在含有殘留油氣和空氣的條件下,塔、管線、儲罐和換熱器的內部發生自燃或爆炸事故的后果是極具破壞性的。此外,設備與管道內的H2S 很容易對檢修人員造成人身傷害和環境污染,因此,需要在檢修前對設備與管道進行FeS的鈍化清洗，防止設備在打開人孔時自燃，消除H2S、RSH等異味；清除FeS、H2S，達到進人條件。

2010年3月6日，按廠部要求，淄博吉泰工貿有限公司對二硫磺裝置的急冷塔C201、吸收塔C202、再生塔C203, D101A酸氣罐、D202酸氣罐以及以上設備的附帶設備等進行FeS鈍化清洗。

二、藥劑及使用方法

l、JT-1型多功能FeS鈍化劑：由淄博吉泰工貿有限公司生產，該劑可高效快速地除去設備上的FeS、Fe203等無機垢，同時吸收設備內的H2S、RSH，消除異味，清洗殘液對環保無不利影響。

其主要物化指標為： 項 目 密度/g.cm-3，20℃

外觀

技術指標 ≥1.05 淺黃色

試驗方法 GB/T 1884 目測

配量：BY-1—1多功能FeS鈍化劑與水按1～10比例配制使用。

2、藥劑用量：急冷塔C201系統計劃用劑3噸，吸收塔C202、再生塔C203系統計劃用劑5噸, D101A酸氣罐計劃用劑1噸，合計約9噸。

三、FeS鈍化清洗方案

準備工作

停工過程中，對設備須進行退胺液、水洗及高溫蒸汽吹掃，除去內部集結的油垢、污垢；

清洗方案確定后，在交付淄博吉泰工貿公司前按清洗方案所確定的流程改通，各設備內提前注入一定的水量，注意設備內的注水量一定要控制在安全線以下，防止水溢流或竄入其它部位。

多年未進行清洗的設備，車間在停工過程中應徹底吹掃、水洗、蒸汽汽提干凈，除去內部集結的殘留物等，保證下一步清洗工作的順利進行；

凡清洗設備富含脫硫胺液MDEA的，要將設備內殘存的胺液徹底放空排盡，并按停工程序徹底吹掃、水洗、蒸汽汽提干凈；

對內部積累的硫化物可能較多的設備，現場一定要有安全監護人員和措施，否則不準施工。

注水及添加藥劑流程需要取得車間及有關部門的同意方可進行操作； 清洗過程中請車間派1～2名工藝或當班人員給予協助。保證清洗過程中水、電、汽的正常供給；

設備清洗前、中、后，確認與設清洗備相連部位隔離情況： 注劑及鈍化清洗方案

（一）二硫磺胺液吸收塔C202與再生塔203系統（含D202）

1.配管

拆塔C203底放空線（DN80）閥門下法蘭，接臨時接線至注劑泵和藥劑槽；

2.加水

清洗前請車間將清洗設備與不參與清洗的設備隔離，將新鮮水通過回流泵P204注入C203，保證C203底部液位達80%。水循環時如水量不足需及時向系統內補水；

3.加劑流程

從臨時接線處注劑進入C203系統，用劑4.4噸；

D202罐及P204A、B出口線采用浸泡方式，從D202罐底放空閥處注劑注水，用劑0.6噸。

4.清洗循環流程

塔C203底注劑完成后，由二硫磺車間按生產流程進行循環清洗。

5.排放流程 從C203底部放空處、臨時施工三通跨線處放空；

（二）二硫磺急冷塔C201 1．配管

拆P201/B泵入口線上DN40彎頭連接管，接臨時泵;2．加水流程

清洗前請車間將該系統隔離，由P-201入口新鮮水線向C201注水至80%液位。建立水循環，如水量不足需向C201內補水；

3.加劑流程

從臨時接線處注劑進入C201底； 4.清洗循環流程

P201入口→P201出口→A204/1、2、3→E201→ C201頂→C201底，→P201入口,進行循環；

5.排放流程

從C201底部放空處放空。

（三）二硫磺D101罐

配管

接帶三通的15米臨時管線至D101頂部放空線(DN40)； 接消防水向罐D101內注水、藥劑，浸泡； 四.監測項目

鈍化液循環或浸泡6～8小時后，鈍化液循環結束，鈍化工作結束，停泵。報安環部，由安環部安排采樣檢測清洗液的COD、氨氮、硫化物等指標，符合要求方可排放。五.質量要求

化學處理完畢，設備在檢修過程中不發生FeS鈍的自燃問題；清洗后設備達到進人條件。六.清洗

2010年3月6日10：00至7日6：00，二硫磺裝置陸續將D-101，C-201系統，C-202、C-203系統等交付鈍化，施工人員按預定計劃分別對交付的設備進行管線連接，然后分別按清洗方案進行清洗鈍化，各塔器、罐、管線、冷換設備清洗鈍化完畢后，車間采樣送環保檢測分析COD、硫化物，氨氮，符合排放要求。8日人孔打開后進行檢查，清洗效果良好，塔及容器內的FeS鈍化的比較徹底，H2S、小分子RSH等吸附較好，部分清洗部位系統檢查照片如下：

二硫磺的照片都用

七.結語

1、本次檢修由淄博吉泰工貿有限公司對二硫磺裝置的急冷塔C201、吸收塔C202、再生塔C203, D101A酸氣罐、D202酸氣罐以及以上設備的附帶設備等進行FeS鈍化清洗。期間得到了車間、廠設備部、安環部、生產技術部等單位的大力支持褐幫助，使我們圓滿完成了鈍化工作，在此表示衷心的謝意。

2、二硫磺裝置所有清洗鈍化部位的人孔打開后，會同車間有關人員對清洗 情況進行了檢查，塔壁、人孔壁、容器等部位清洗的都比較干凈，塔內未發現有積存油泥，未出現著火情況，達到了FeS鈍化清洗的目的。

第二篇：10萬噸硫磺檢修總結

10萬噸硫磺檢修總結

二部四工區王一鳴

金陵石化二部四工區硫磺裝置Ⅲ硫磺在2014年2月28日到3月27日進行裝置檢修，經過4年的裝置運行，裝置存在著一些問題都將在這次檢修中進行整改，并對期間的一些合理化建議與碧水藍天進行實施。

2月28日裝置停工，在之后7天內對裝置進行停工掃線、退溶劑。由于硫磺裝置的特殊性，管線中、設備中的硫化氫含量較高，所以停工之后掃線任務就特別重要。

首先是對裝置反應器上催化劑上的S進行去除。在正常操作時，硫被吸附到克勞斯催化劑孔隙中。在計劃停工前，需要除去催化劑上的硫，以防硫在催化劑上固化，或防止催化劑在高溫下暴露在空氣中時催化劑上的硫開始燃燒。在過量空氣引入之前，裝置應用由燃料氣在主燃燒器中進行亞化學計量燃燒生成熱惰性煙道氣吹掃約12～24小時，克勞斯催化劑床層應冷卻到150～200℃。在12～24小時后，逐漸引入過量空氣，以除去最后微量的硫和在設備正常操作時氧化生成自燃的FeS。而加氫反應器的處理，是使加氫催化劑恢復氧化態。否則，催化劑暴露在空氣中會很快導致能損壞催化劑的高溫，在某些情況下，還會損壞反應器本身的一些部分。高溫能引起催化劑燒結，使催化劑表面積減小，催化劑活性降低。RAR尾氣處理部分的氣體用循環氣鼓風機驅動，以最大速率循環，以除去反應熱。用循環氣加熱器和電加熱爐使氣流溫度升高到要求的反應器入口溫度。急冷塔保持運行，以冷卻流出氣體。在此階段應通過關閉HV-9005隔離H2S吸收塔。在經過幾天的處理，一反，二反，及加氫反應器的幾個床層都相應的出現過幾次溫度波峰，包含了所有的床層，在隨后的打開人孔檢查也發現催化劑中硫磺燒的干凈，說明這次對反應的處理進行的比較徹底。

接著是退溶劑，裝置中的溶劑中也含有較多的硫化氫，應該對溶劑系統進行循環，除去這些硫化氫，接著將系統中的所有溶劑退走，并將泵、管線以及塔設備中殘余的溶劑退至TK902。在這次的停工退溶劑中，我們將管線，泵，換熱器逐一清掃，并用蒸汽趕盡，在之后的檢查中，所有低點導淋均未見到溶劑。之后為了充分防止硫化氫自然，又對溶劑進行了8個小時的鈍化處理。

在這次檢修過程中，由于E908的管束的更新，為清除中壓蒸汽管線、設備內的各種機械雜質，保護蒸汽輪機等用汽設備的安全運行，在中壓蒸汽管線投運前，需對裝置及系統的中壓蒸汽管線、中壓飽和蒸汽管線進行吹掃與打靶驗收。1）3.5MPa蒸汽引汽暖管，蒸汽管線的吹掃方法用暖管--吹掃--降溫--暖管--吹掃--降溫的方式重復進行。直至吹掃合格。使管線冷熱變形后管內壁的鐵銹等附著物脫落。蒸汽吹掃必須先充分暖管，并注意疏水，防止發生水擊（水錘）現象。在吹掃的第一周期引蒸汽暖管時，應特別注意檢查管線的熱膨脹，管道的滑動，彈簧支吊架等的變形情況是否正常。暖管應緩慢進行。即先向管道內緩慢地送入少量蒸汽，對管道進行預熱，當吹掃管段首端和末端溫度相近時，方可逐漸增大蒸汽流量至需要值進行吹掃。引蒸汽暖管時，其第一次暖管時間要適當長一些，大約每小時升溫100℃左右，第二輪以后的暖管時間可短一些，大約每小時升溫200℃左右。每次的吹掃時間大約為20-30min，因為降溫是自然冷卻，故降溫時間決定于氣溫，一般使管線冷至100℃以下即可。2）3.5MPa蒸汽給汽吹掃給汽。自界區引3.5MPa蒸汽，疏水完成后充分暖管，逐漸慢開邊界閥閥1，向3#硫磺裝置內給汽。倒引中壓蒸汽吹掃E908管束及入口管線，調節閥TIC9033A走副線，TIC9033B調節閥拆接臨時線至消音器。吹掃時，必須保證相連未完工管線有效隔斷。按照依次分支的原則，逐條管線進行吹掃，一條一條吹掃、貫通。連續三次更換靶板檢查，如靶板上肉眼觀察靶片上沖擊斑痕粒度小于1mm，且肉眼可見斑痕不多于10點，并經相關部門鑒定合格后，吹掃即告結束。

此次停工過程中，在克勞斯單元切換燃料氣吹掃操作時，發現燃料氣燒嘴腐蝕嚴重，燃料氣噴嘴堵塞不暢，總共13個燃料氣噴嘴口，僅上部3個噴嘴口通暢，其余10個全部堵塞。由于燃料氣燒嘴堵塞，在停工燃料氣吹掃操作時，熱反應爐H801燃料氣流量在150~200kg/h，燃燒氣相熱負荷量偏低，煙氣吹掃克勞斯系統存在局部的死角，一定程度上影響系統吹掃除硫效果及時間。

針對上述燃料氣燒嘴堵塞不暢問題，進行原因分析，判斷為腐蝕介質及輻射熱共同導致，總結預防措施如下：（1）正常生產情況下，燃料氣燒嘴保護氮氣閥門全開，閥門上鉛封管理；此處建議增設保護氮氣流量指示引進DCS，進行監控。（2）開停工進行燃料氣操作前，對燒嘴前燃料氣管線氮氣吹掃置換，避免管線內存水存油等帶入火嘴堵塞燃料氣噴嘴口，使用過程中，加強燃料氣分液罐V803切液，控制V803液位在5~10%；（3）合理分配熱反應爐H80

1一、二區循環酸氣控制，降低爐膛溫度控制不大于1450℃。

在開工過程中遇到CLAUS反應器入口預熱溫度難以提高的問題。10萬噸/年硫磺回收裝置采用中壓蒸汽預熱的方式對一級、二級CLAUS反應器R801、R802的入口過程氣進行加熱，由于CLAUS反應預熱器E805、E806浮頭處都存在不同程度的泄露，雖經多次注膠補焊，效果仍不理想，正常運行狀態下兩個CLAUS反應器床層溫度都難以達到工藝指標。同樣在停工過程中，二級CLAUS反應器的入口過程氣溫度也無法滿足工藝要求，工藝操作上二級硫冷凝器E803出口過程氣的溫度控制在160℃左右，與約4.0MPa的飽和水蒸汽（溫度約為250.3℃）在一級反應預熱器E-805內換熱，加熱蒸汽流控閥和副線全開的狀態下，換熱后的過程氣溫度只有210℃不到，210℃的溫度低于硫的自燃點232℃，因此導致進入二級CLAUS反應器R802的過程氣溫度偏低，不利于除催化劑燒硫。在此次開停工過程中，CLAUS反應入口預熱器E805、E806引尾爐蒸汽過熱器E908后過熱蒸汽（溫度約為400~460℃）進行加熱，加熱效果有所上升，反應器入口溫度提高至220~230℃。開工后正常運行時，在加熱蒸汽流控閥有截流及副線未開的狀態下，兩個CLAUS反應器床層溫度也能滿足工藝指標要求。

在這次檢修過程中，我也參與了其中許多項目，由于我在硫磺學習期間不長，對裝置了解不多，正好經由這次的檢修，讓我學到了許多東西，對裝置了解更加充分，對以后學習進步有著很大的幫助。

第三篇：一硫磺項目質量總結

一硫磺項目質量總結

質量管理包括制定質量方針和質量目標，以及質量策劃、質量控制、質量保證和質量改進等。一硫磺項目的質量管理工作在明確合同要求和法律法規要求的前提下，建立項目質量管理體系和質量保證體系，依據設計文件、規程規范、現場條件進行項目的質量策劃，正確配置施工生產要素和采用科學的管理方法，使工程項目實現預期的使用功能和質量標準。

工程開工前，項目部對項目工程質量的主要影響因素進行了分析，總結為人員、機具、設備材料、施工方法、施工環境5個方面。在項目實施前及項目實施過程中以這5個方面為主線做了以下工作：

1．項目部審核了施工單位項目經理及主要項目管理人員的執業資格證、工作經驗等，審核了工程施工人員的特種作業證、操作經驗并組織了焊工考試進行技能考核確認，特別是特種作業領域做到考試合格持證上崗。施工過程中隨時抽查人員的持證和工藝紀律情況；施工前組織業務培訓和分項工程技術交底，明確技術質量要求；對人員的質量意識、錯誤行為等進行監督評價，實施質量獎罰制度。

2．項目部對于現場的檢驗測量設備和施工機具進行了全面檢查，做到每塊表、每臺特種機械都具備國家監檢部門及計量部門的檢定證明文件并在使用有效期內，還要求施工單位對所有的檢測設備設立臺賬控制，并進行定期保養和維護，保證施工機具的正常使用。施工過程中對進場施工設備、器具的性能、完好情況進行驗收；監督機具設備的完好狀況，及時要求施工單位進行保養和維修；對檢測設備、儀器使用部位進行把關，保證滿足所需的精度要求；安排施工單位制定設備操作規程，并監督正確使用。

3．項目部對工程中設備材料的使用進行了嚴格的審查和檢驗，工程中的主要設備余熱鍋爐等還專門派設計人員進行了駐廠設備監造，加大了設備出廠前的質量保證措施，設備材料到貨做到每臺設備每件管材、管件、閥門等都進行進場驗收工作，不合格產品直接進行退貨處理，讓不合格產品遠離工程。施工過程中項目部主要審核施工單位材料計劃，明確產品的特殊要求；對工程設備及材料進行報驗、試驗和復驗；對材料進行標識及可追溯性控制，對不合格材料、不適用設備進行處置。

4．項目部編制了一硫磺項目質量計劃、施工質量計劃、質量考核規定、單位工程劃分和質量控制點劃分等文件，明確了施工質量控制、質量控制點、隱蔽工程控制、關鍵工程特殊過程控制、不合格品控制、糾正預防措施控制、質量驗收控制等標準要求。在施工過程中要求施工單位嚴格按照規范及標準要求，編制施工組織設計，各專業工程編制施工方案，危險性較大的工程編制專項施工方案。施工開始前進行設計交底及技術交底并形成文字記錄，培訓到每一位施工人員。施工過程中項目部確定檢驗批、分項、分部、單位工程劃分的準確性，實施質量驗收，控制工序質量，針對影響因素，制定預控方案；對隱蔽工程制定停檢點進行驗收。

5．項目部審核了施工單位的質量保證體系、組織機構、崗位設置、質量管理制度等，嚴格要求將組織機構中質量管理人員配備到位，將質量管理制度對施工人員進行培訓宣傳，保證施工人員做到施工質量心中有數。項目部與施工單位共同進行了全場施工平面布置、施工工作面安排和施工順序規劃等工作。

施工質量控制點是施工過程中需要進行重點控制的對象或實體。它對施工期間需要重點控制的質量特性、關鍵部位、薄弱環節，以及主導因素等采取特殊的管理措施和方法，實行強化管理，使工序處于良好控制狀態，確保達到規定的質量要求。施工質量控制點設置在安裝重要設備，施工技術難度大，施工條件困難，施工質量精度要求高等環節或施工項目。在施工質量控制點實施過程中，項目部嚴格要求施工單位對施工班組每位成員進行交底，使施工人員了解操作要點；要求施工單位質量管理人員在現場進行檢查、指導和驗收；檢查施工人員是否嚴格按照作業指導書進行操作，確保每個環節的施工質量；檢查并保存施工記錄，確保施工質量都有跡可循。

項目施工質量目標中明確要求了項目工程焊接一次合格率97%以上，作為石油化工工程安裝工程質量的保證，焊接工程質量是安裝工程中最為關鍵的一項要求。項目部對焊接質量影響因素進行分析并制定預控措施，制定預防措施嚴格把關焊接方案的實施。一硫磺項目現場最終拍片8321張，合格8206張，一次合格率98.6%，達到了項目施工質量目標的要求，保證了裝置的安裝焊接質量。在施工過程中項目部要求施工單位對焊條的采購、烘烤、發放、使用等環節嚴格把關，項目現場幾家勞務分包單位的焊條管理統一由勝越公司管理；工程中珞鉬鋼管道嚴格按照規范要求進行焊前預熱工作；需要焊后熱處理的管道嚴格按照設計要求執行；施焊過程嚴格按照工藝卡要求；控制清根質量；風速大時采取防風措施；配備焊條保溫桶，保證焊條溫度；雨雪天禁止施焊；現場檢查管口對口錯邊量。一系列措施的有效實施保證了一硫磺項目的焊接工程質量。

最終一硫磺項目在齊魯石化質監站、工程處、煉油廠、監理單位的共同參與下驗收合格，達到了令業主滿意的工程，也實現了公司為項目部制定的項目質量目標。

1．工程項目最終產品和服務100％符合法律法規、標準規范以及合同規定的要求； 2．工程項目合同履約率100％； 3．工程項目滿足一次開車成功的要求且達到長周期穩定運行；

4．設計內容和深度100％符合SHSG-033-2003《石油化工裝置詳細工程設計內容規定》的要求，設計最終產品合格品率100％，確保獲得省、部級以上優秀工程設計獎；

5．采購設備材料合格率100％，滿足合同、設計、制造標準及相應規范的要求； 6．單位工程施工質量合格率100%； 7．無傷亡和環境污染事故。

劉瑩 2015-6-19

第四篇：前后清洗總結

前后清洗總結

前清洗【清洗制絨】

一、制絨流程

單晶：預處理——制絨（NaOH）——酸洗（HF，HCL）——熱水慢提拉——熱水烘干 多晶：制絨——漂洗——堿洗——漂洗——酸洗——漂洗——烘干

二、原理

單晶：利用堿（NaOH)、異丙醇（IPA）與睡的混合液對單晶硅片的各項異性腐蝕，在表面形成類似“金字塔”狀的絨面，有效增加硅片對入射太陽光的吸收，從而提高光生電流密度。多晶：由于多晶晶體排列雜亂，無法利用堿液對硅晶體的各項異性腐蝕進行制絨，所以要用酸溶液對硅晶體進行各項同性腐蝕。即通過硝酸與氫氟酸的混合溶液對硅片表面腐蝕進行制絨。

三、影響制絨面質量的關鍵因素

單晶：堿的濃度、反應溫度、添加劑濃度、IPA濃度、NaSiO3濃度、體系流動性、硅片表面原始狀態。

多晶：HF濃度、制絨溫度、腐蝕時間、制絨液壽命、反應連續性、HNO3濃度、溶液流動性、原硅片表面損傷層狀態。

四、監控手段

單晶：減薄量、反射率、絨面尺寸、顏色一致性、擴散后外觀 多晶：減薄量、反射率、網紋等級、擴散后外觀

五、用到的化學品

單晶：NaOH、HF，HCL（酸洗）、IPA（異丙醇）

多晶：NaOH（堿洗）、HCL+HF（酸洗）、HNO3（硝酸）

六、硅片表面處理的目的

1、去除硅片表面的機械損傷層（來自硅棒切割的物理損傷）

2、清楚表面油污和金屬雜質

3、形成起伏不平的絨面，增加對太陽光的吸收，增加PN結面積，提高短路電流（ISC),最終提高電池轉換效率。

七、預處理

目的：去除硅片表面的機械損傷層，油污等，減少白斑、白點的產生，為制絨創造一個良好的反應環境。

漂洗：利用去離子水將硅片表面的殘留化學品漂洗干凈。

八、單晶堿制絨會出現哪些不良及相應處理

色差：由于反應速率不一致引起的絨面大小不一。

發白：表面清洗劑殘留阻礙反應，而發白部分絨面極小。劃痕：切片損傷

指紋印：主要為操作問題及所使用的手套問題。雨點：反應較快，產生的氫氣泡不能及時排出。

九、前后清洗有哪些槽 制絨槽、堿洗槽、酸洗槽。

十、影響腐蝕量的因素

溶液溫度、反應時間、溶液濃度。后清洗【刻蝕】

一、刻蝕目的

去除擴散后硅片四周的N型硅，防止漏電。

二、原理：SiO2+6HF→H2[SiF6]+2H2O

在擴散工藝中，在硅片表面形成一種含有磷元素的二氧化硅——磷硅玻璃，利用HF能夠溶解二氧化硅的特性，溶解表面的二氧化硅和磷的混合物，使得硅片表面上下絕緣，防止漏電。

三、工藝流程

上料—刻蝕—水洗—堿洗—水洗—酸洗—水洗—風干—下料

四、刻蝕所用的化學品

硝酸（HNO3）、氫氟酸（HF）、硫酸（H2SO4）、氫氧化鈉（NaOH）

五、各槽的作用

①刻蝕槽：硝酸將硅氧化生成二氧化硅，氫氟酸與二氧化硅的反應生成物進入溶液，硫酸不參加反應，增大溶液的粘度，增大溶液與PSG薄層間的張力和溶液的密度。②堿槽：中和硅片殘留的酸液，去除多孔硅。

③HF槽：去磷硅玻璃、中和硅片表面殘留的堿液。④水洗槽：洗去硅片表明殘留液。

六、去磷硅玻璃（P、P2O5、SiO2）

目的：①磷硅玻璃的存在使得硅片在空氣中表面容易受潮，導致電流的降低和功率的衰減。②：死層的存在大大增加了發射區電子的復合，會導致少子壽命的降低，進而降低了VOC和ISC。

③磷硅玻璃的存在使得PECVD后產生色差。

七、質量控制點

1、減薄量（一天測一次）a、前清洗（制絨前-制絨后）單：0.45~0.78g 多：0.36~0.42g b、后清洗（刻蝕前-刻蝕后）單：0.05~0.07g 多：0.06~0.08g

2、反射率（一天測多次）

單：10.35~11.65（一天測三次，一次拿三片）（4、5、7、8、10）多：24.5~26.5（一天測五次，一次拿五片）

3、邊阻（一次）＞1.5KΩ 正常

0.8KΩ~1.5KΩ調整

＜0.8KΩ停產 注：前清洗要測減薄和反射率

后清洗要測減薄和邊阻值擴散學習報告

一、擴散的目的：形成PN結

PN結的制造：①不是兩塊P型和N型的半導體接觸

②必須使一塊完整的半導體晶體的一部分是P型區域，一部分是N型區域

③在晶體內部實現P型和N型半導體的接觸

二、影響擴散的因素

(1)POCl3濃度

（2）擴散溫度

（3）擴散時間

N型區域磷濃度和擴散結深共同決定著方塊電阻的大小

方塊電阻：表面為正方形的半導體薄層在電流方向所呈現的電阻。

—即是反映擴散層質量是否符合設計要求的重要工藝指標之一。

—標志擴散到半導體中的雜質總量的一個重要指數。

三、擴散的原理（三氯氧磷在600℃高溫下分解生成五氯化磷和五氧化二磷）

化學反應：POCl3在高溫下（＞600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5)

四、擴散的操作流程

上料→插片→進舟→擴散→推舟→在線測方塊電阻→卸片。

注：測試如有偏差，按工藝規定在四探針測試儀上進行離線測試，如離線測試確認偏差應及時反饋技術進行調整。

五、測量方塊電阻方法：①在線測試儀器—Semilab

②離線測試儀器—四探針測試儀

如果發現方阻不正常的片子該怎么做？

超OOC（控制限）反饋技術調整

超OOS(規范限）反饋技術

六、擴散的工藝

多晶UNIF—90A中心值90±5

警戒線80和100 單晶MONO—70B中心值80±5

警戒線70和90 超OOC，反饋技術調整，并跟蹤調整的結果。

超OOS，反饋技術若需換源手動則可流入下道工序，若其他原因則返工。

七、單多晶擴散返工挑選標準

單晶：方阻異常和嚴重燒焦、石英舟舟印、卡齒印 多晶：方阻超范圍、擴散不完全或燒焦。注：常用的擴散方法有三種

我公司采用三氯氧磷（P0Cl3）液態源擴散方式。

巡檢在擴散過程中抽測時應注意單晶和多晶、一二線、三四線、五六線的抽片順序。

PECVD學習報告

一、PECVD：全稱為“Plasma Enhanced Chemical Vapor Depositien”即等離子增強型化學氣相沉積。解釋：PECVD是借助微波反射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

二、目的：

（一）鍍減反射薄膜→可以有效降低光的反射率。

（二）表面鈍化作用→增加少子壽命，進而增加3ISC和VOC。

↓

即在表面形成一道膜，有助于在燒結中保護PN結。

三、原理：3SiH4+4HN3→Si3N4+12H2↑

沉積工藝中產生的H和氫離子使得晶片的氫鈍化性良好，根據改變硅烷（SiH4）對氨的比率，來得到不同的折射指標。

四、工藝及折射率

單晶L3、L4

SN—2

2.07±0.04/0.05 多晶L1、L2、L5、L6

N6

2.23±0.04/0.05

五、PECVD異常案例分析

1、鍍膜后整舟色差片

原因：舟使用次數超過工藝規定的使用次數

措施：按工藝要求舟使用的次數或鍍膜出現差片時進行清洗 巡檢：①關注舟使用次數，鍍膜后是否出現批量色差片

②查看舟使用記錄，填寫是否規范

③查看洗舟房《石墨舟清洗記錄表》記錄是否完善，清洗烘干時間是否按照工藝要求執行，清洗吹干后是否進行拆洗。

2、鍍膜出現整舟金黃片

原因：返工片重新鍍膜，工藝時間輸入出錯，造成二次鍍膜。措施：由于技術員輸入返工片的鍍膜時間

巡檢：巡查時關注返工片的類型和數量，是否有批量同類返工片。是否有批量黃金片，及時反饋技術確認原因。

六、PE需要點檢的項目

（1）返工片情況

色差

紅片

白片

白斑白點

過刻

臟污

花片（2）石墨舟使用情況①使用100次成出現批量色差片，記錄表單

②石墨舟破損→統計播報（3）設備維修掛牌，運行狀況（4）測試折射率

七、PE改數據

第五篇：硫磺學習重點

硫磺裝置學習重點 脫硫系統:

1、詳細流程

2、工藝指標

3、C-101102發泡原因及處理

4、SR-105操作

5、C-101102、V-102撇油操作

6、S-100、SR-101103反吹掃操作

7、一、二催化干氣憋壓原因及處理

8、酸性氣泄漏處理

9、減溫減壓器投用操作

10、瓦斯泄漏處理

11、開、停工操作

12、冬季防凍操作

13、冷卻器投用操作

14、C-102溫度不穩定原因、處理

15、P-101抽空原因及處理

16、V-102壓力高原因及處理

17、P-104抽空原因及處理

18、四停處理

19、DCS死機處理

20、脫硫崗位日常巡檢內容

21、管線、液面計凍凝處理

制硫系統

1、詳細流程

2、工藝指標

3、制硫、加氫系統的開、停工操作

4、冬季防凍操作

5、F-201配風原理、操作

6、F-203操作調節

7、F-301熄火原因及處理

8、F-301爐溫波動大原因及處理

9、E-302操作注意事項

10、E-302燒壞原因及預防措施

11、制硫系統各壓力的作用？

12、自保系統原理及自保后制硫崗位的操作

13、F-202開工線的作用？

14、加氫催化劑的預硫化、鈍化原理及操作

15、C-301堵塞原因、現象、處理

16、F-301超溫原因及處理

17、C-302滿塔原因及處理

18、硫化氫泄漏處理

19、硫封的建立操作 20、瓦斯吹硫操作、注意事項

21、J-201/B的操作

22、自保流程、酸性氣安全線流程

23、酸性氣阻火器反吹掃操作

24、F-202、E-201202203干鍋處理

25、硫冷器補液面操作注意事項

26、硫磺著火處理

27、制硫崗位日常巡檢內容

28、DCS死機、四停處理

29、夾套伴熱線流程 30、管線、液面計凍凝處理 一火炬崗位

1、流程、工藝指標

2、冬季防凍操作

3、火炬大火時的操作

4、R-3/1帶液態烴處理

5、R-3/1帶凝縮油處理

6、R-4帶液態烴處理

7、電打火工作原理

8、點長明燈操作

9、焚燒爐開停操作

10、伴熱線流程

11、酸性氣改去火炬操作

12、電磁閥不嚴現象及處理