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微電子大學(xué)畢業(yè)生參觀實習(xí)感悟

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第一篇:微電子大學(xué)畢業(yè)生參觀實習(xí)感悟

實習(xí)感悟

俗話說紙上得來終覺淺,絕知此事要躬行。作為微電子專業(yè)的學(xué)生,大學(xué)三年多,我一直在學(xué)校里學(xué)習(xí)有關(guān)的理論知識。從最基本的原理到半導(dǎo)體的工藝、器件和設(shè)計方向,它們一直都只是存在厚薄不一的書本上。直到上周四、五,我跟隨同專業(yè)的同學(xué)們一道前往樂山菲尼克斯半導(dǎo)體封裝廠和峨嵋山半導(dǎo)體材料研究所進行了為期兩日的參觀實習(xí)后,我才深刻感受到了真正的生產(chǎn)實踐。

第一日,我們參觀了樂山的菲尼克斯半導(dǎo)體封裝廠。樂山菲尼克斯雖然坐落于一個偏僻的位置,但是整個廠房內(nèi)的自動化生產(chǎn)設(shè)施設(shè)施和身著靜電服在一絲不茍操作著的工作人員,無時無刻不透露著它作為安森美旗下的集合了高科技和高素質(zhì)人才的西南地區(qū)第一大廠。我也有幸目睹了一個簡單的三端器件如何從一個簡單的銅片上經(jīng)過一道道工序成為一個個合格的產(chǎn)品。封裝過程作為半導(dǎo)體制造技術(shù)中對成本影響最大的一塊內(nèi)容,程序控制自動化這一技術(shù)無疑讓其成本下降不少。感慨于這一切的同時,我們也聆聽了負責(zé)生產(chǎn)線王經(jīng)理對于樂山菲尼克斯的介紹,以及他分享的切身體會和一些人生道理。

其中讓我感觸最深的莫過于那一句:成功的關(guān)鍵不在于一些客觀條件,而在你夠不夠努力。雖然他覺得這句話對于大四的學(xué)生來說不一定有用,但是我作為一個正在積極備考的學(xué)生來說,還是非常受用的,因為我正走在這條通往目標的崎嶇山路上,而一切的結(jié)果也將在兩周之后見分曉。不管是繼續(xù)學(xué)習(xí)還是就業(yè),人就應(yīng)該多拼一點,每次比別人努力多一點,點點滴滴的量變終將成為質(zhì)變。

第二日的行程是前往峨眉山半導(dǎo)體材料研究所。研究所給我的第一印象就是出于深山偏遠之地,老舊的建筑其貌不揚。畢竟,作為一個半軍工企業(yè),我也能理解其外在的平凡。然而當我們進入到研究所里面,才意識到一切并非原本所想。每一位技術(shù)人員都多多少少經(jīng)歷了十多年的磨練,早已經(jīng)將自己的技術(shù)爛熟于胸,并且不斷地深化和鉆研。那些看起來普通的設(shè)備,雖然也已經(jīng)工作了數(shù)十年,卻仍然保證其合格的產(chǎn)品質(zhì)量。十幾年甚至數(shù)十年從事于一項技藝,對于我們這些年輕人來說是不敢想象的,因為我們年輕,心浮氣躁,在短時間內(nèi)終究是無法潛下心來好好去鉆研。

在參觀單晶硅的制備設(shè)備的過程中,負責(zé)帶隊的師傅說道,這個設(shè)備價值三千萬,是從丹麥進過來的。我一邊佩服這這臺設(shè)備的先進,一邊卻有點難過。我國的半導(dǎo)體技術(shù)相比于西方國家仍然有很大的差距,一些設(shè)備只能依靠國外進口而不能實現(xiàn)國內(nèi)的自己研發(fā),當一項項技術(shù)專利被申請,我們難免會產(chǎn)生依附。這一切的差距我想不只需要我們這一代人的努力,盡可能還要這樣好幾代人的努力吧。不過至少欣慰的是,國家一直都在重視半導(dǎo)體這一行業(yè),同時也有大量的人才正投入于其中,為之奮斗。

短短兩日的參觀實習(xí),我不敢說自己真正學(xué)會了什么,或者學(xué)到了什么。畢竟技術(shù)不是一朝一夕可以練就的。但至少在精神上,我覺得自己收獲頗豐。無論是樂山菲尼克斯,還是峨嵋山半導(dǎo)體研究所,他們都在向我傳達著這樣一種信念,成大事者切忌眼高手低,只有潛下心來,通過努力加堅持,我們能有所成就。

以上便是我在這兩日參觀實習(xí)過程中的感想。

12月13日

第二篇:2014大學(xué)畢業(yè)生實習(xí)心得感悟

找工作真的是一種緣份,我這樣認為。想當初,剛踏進施樂的第一步時,我根本不會想到自己會讀外貿(mào)這一專業(yè),更不會想到自己如今從事的職業(yè)與我就讀的專業(yè)完全不相關(guān)。回首過往時光,不免有心得感悟,寫出來或許對大家有所幫助。

時間過的真快,在2014年的2月21日我們走出了校園,踏上了工作崗位,開始了實習(xí)生活,一眨眼的工夫,我們已經(jīng)工作快三個月了,在這三個月中我們學(xué)會了很多以往在學(xué)校里學(xué)不到的知識。三個月中我?guī)缀鯂L遍了人生中的酸、甜、苦各種味道。

實習(xí)的第一天,我懷著忐忑不安的心情來到了我實習(xí)公司的樓下,因為沒有見過將要工作在一起的同事,對他們或多或少都有些好奇,會想他們?nèi)莶蝗菀紫嗵?會不會教給我新的知識,會不會像有些人口中說的那樣讓我在一旁歇著,一點也不教我?站在大廈的樓下,遲遲的不敢走進電梯,眼看著時間一分一秒的過去了距離老師和實習(xí)單位聯(lián)系人的時間越來越近了,最終我還是鼓起勇氣,進了電梯按了公司所在的樓層。說來也是巧,我去報到的那一天剛剛我要工作的單證部在加班,后來辦公室主任幫我介紹了我們部門的經(jīng)理和其他的同事后,我也加入了工作的行列。第一天遇到的事和人都是陌生的,我?guī)缀跏菑牧汩_始。但有一點很慶幸我所想的一切都是浪費的,他們不但很容易相處,而且會教我很多東西,真后悔當初應(yīng)該早點進電梯,在樓下站了半天。

在實習(xí)的時候,我的其中一個工作是催核銷單。有一次我打通了一個電話,對方是一個脾氣非常火爆的小姐,我自報家門后然后說我想問一下幾票核銷單有沒有退下來,對方卻十分兇的大發(fā)脾氣,被她罵了一頓后就把電話給掛了。當時我感覺委屈,又不是我的錯,干嘛罵我呀!那時我只感覺到我的眼眶里有些水在流動,似乎要流下來了,我不好意思讓同事們看到我這個樣子,偷偷的跑到了洗手間對著鏡子說這是很平常的事情,沒關(guān)系。后來公司的同事也說那個小姐本來就是一個脾氣十分爆躁的人,而且她的工作量也非常的大,每天工作都很忙的,這樣我心里也舒坦多了

還有一次,一大早醒來就感覺頭暈暈的,喉嚨痛痛的,很明顯的跡象我感冒了。但是想想我是個實習(xí)生,我總不能隨便打個電話去然后說我生病了我不去了,那會給人留下什么樣的印象哦,最后我還是去上班了。在工作的時候我人真的好難過,真的好想和部門經(jīng)理請假回家休息,但是話到了嘴邊就是說不出來,一直忍著直到六點多下班,晚上回到家倒頭就睡。那時候想想如果在上學(xué)那該多好啊,可以請假休息一下,工作真的是好辛苦哦!!

實習(xí)中最開心的事情當然是拿工資啦,那時候讓我知道了賺錢是多么的不容易,看著發(fā)著的工資,真的有點舍不得用。因為這錢跟以往父母給的不一樣,以前用錢的時候不會去想這錢得來有多么的辛苦,但是用自己發(fā)來的工資的時候感覺就不同了,用的時候會覺得這是我自己賺來的錢,有種飄飄然的感覺,但又有一種感覺就是這可是我很辛苦才賺來的呀,這么給花了會不會太浪費呀!

最讓我開心的事情是我有好多肯教我的老師們,他們用自己的工作經(jīng)驗慢慢的教給我知識,讓我把書上的理論知識運用到了實踐上,教給我為人處事的道理,也能包涵我剛剛出校門對工作陌生而犯下的錯誤。讓我在工作上學(xué)到了很多東西,也在處事上學(xué)到了很多,學(xué)會在怎么樣的情況下對人的態(tài)度應(yīng)該怎么樣,該兇的時候就必須要兇,否則就辦不好事情。真的是非常感謝他們。

實習(xí)不再是以前的校園生活,有學(xué)校呵護著你,在社會上我們有時候就必須要自己去面對處理一些事情,培養(yǎng)了我們的獨立性。其實外面社會這個學(xué)校,有許許多多可以讓我們學(xué)習(xí)的知識。

第三篇:XX大學(xué)畢業(yè)生實習(xí)心得感悟

XX大學(xué)畢業(yè)生實習(xí)心得感悟

隨著會計制度的日趨完善,社會對會計人員的高度重視和嚴格要求,作為一名在校的會計專業(yè)學(xué)生,為了順應(yīng)社會的要求,加強社會競爭力,也應(yīng)該注重培養(yǎng)自身的素質(zhì),培養(yǎng)較強的會計工作的操作能力。實訓(xùn)內(nèi)容的銜接可以有助于促進我們對會計知識形成整體的感性認識,有助于我們認識所學(xué)的本會計課程在整個會計專業(yè)課程體系中的地位、作用,增強學(xué)習(xí)的積極性。通過系統(tǒng)的模擬操作,深刻理解掌握會計核算基本知識,增強動手操作能力,為今后的學(xué)習(xí)工作打下基礎(chǔ)。于是學(xué)校給我們創(chuàng)造一次實訓(xùn)的機會,以檢驗自己的會計知識掌握程度和鍛煉自己的操作能力,接觸社會,接觸現(xiàn)實會計職業(yè),為踏入社會工作崗位做好準備。

而作為學(xué)習(xí)了差不多一年會計的我們,只可以說對會計有關(guān)的專業(yè)基礎(chǔ)知識、基本理論、基本方法和結(jié)構(gòu)體系,我們都基本掌握。但這些似乎只是紙上談兵。倘若將這些理論性極強的東西搬上實際上應(yīng)用,那我們也會是無從下手,一竅不通。所以,我們一定要在這次實習(xí)中,努力將自己在學(xué)校所學(xué)的理論知識向?qū)嵺`方面轉(zhuǎn)化,盡量做到理論與實踐相結(jié)合,在實習(xí)期間能夠遵守工作紀律,不遲到、早退,認真完成領(lǐng)導(dǎo)交辦的工作,得到學(xué)習(xí)領(lǐng)導(dǎo)及全體工作人員的一致好評,同時也發(fā)現(xiàn)了自己的許多不足之處。

在這次實習(xí)中,我深刻體會到。實習(xí)是每一個學(xué)生必須擁有的一段經(jīng)歷,它使我們在實踐中了解社會,讓我們學(xué)到了很多在課堂上根本就學(xué)不到的知識,也打開了視野,增長了見識,為我們以后進一步走向社會打下堅實的基礎(chǔ)。如果用班級作為會計財務(wù)室,那我們每個人就相當于一個財務(wù)科,包括有制單,出納,記帳,成本核算,綜合和主管等六個崗位,使我們實習(xí)時有一個模擬的操作環(huán)境。在取得實效的同時,我也在實習(xí)過程中發(fā)現(xiàn)了自身的一些不足。總結(jié)了以下幾點:專業(yè)方面,首先,作為一個會計人員應(yīng)該具備扎實的專業(yè)知識和良好的專業(yè)思維能力,具備誠實守信等端正的職業(yè)操守和敬業(yè)態(tài)度,這是會計工作崗位對會計人員最基本的要求。

其次,作為一個會計人員要有嚴謹?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。會計工作是一門很精準的工作,要求會計人員要準確的核算每一項指標,牢記每一條稅法,正確使用每一個公式。再次,要有吃苦耐勞的精神和平和的心態(tài)。這一次的實習(xí)雖然時間短暫,雖然接觸到的工作很淺,但是依然讓我學(xué)到了許多知識和經(jīng)驗,這些都是書本上無法得來的。通過實習(xí),我們能夠更好的了解自己的不足,了解會計工作的本質(zhì),了解這個社會的方方面面,能夠讓我更早的為自己做好職業(yè)規(guī)劃,從知識上講,會計工作是一門專業(yè)性很強的工作,從業(yè)人員只有不斷地學(xué)習(xí)才能跟上企業(yè)發(fā)展的步伐,要不斷地充實自己,掌握最新的會計準則,稅法細則,法律知識及攻關(guān)經(jīng)濟動態(tài)。這樣才能精通自己的工作內(nèi)容,對企業(yè)的發(fā)展方向作出正確的判斷,給企業(yè)的生產(chǎn)與流通制定出良好的財務(wù)計劃,為企業(yè)和社會創(chuàng)造更多的財富。

從道德素質(zhì)講,會計工作的特殊性使其可接觸到大量的共有財產(chǎn),所以作為會計人員一定要把握好自己辦事的尺度,首先自己要做到安分守己,其次對于他人的威脅,誘惑,和指使要做到堅決不從。朱镕基同志曾經(jīng)講過“不做假賬”。這四個字代表了他對整個會計界提出的要求和寄予的希望。如何挽救道德的缺失,將個人素質(zhì)提高到一個新的層面上來,是我們每一個會計人員都要努力思考的問題。只有會計人員自身的道德素質(zhì)提高,才能夠走好職業(yè)生涯的每一步,只有會計人員全體道德素質(zhì)提高,會計行業(yè)才能夠得到更深的發(fā)展,市場經(jīng)濟的優(yōu)勢才能夠發(fā)揮得更好。

而作為一個會計人員要有嚴謹?shù)墓ぷ鲬B(tài)度。會計工作是一門很精準的工作,要求會計人員要準確的核算每一項指標,牢記每一條稅法,正確使用每一個公式。會計不是一件具有創(chuàng)新意識的工作,它是靠一個又一個精準的數(shù)字來反映問題的。所以我們一定要加強自己對數(shù)字的敏感度,及時發(fā)現(xiàn)問題解決問題彌補漏洞。作為一名會計人員要具備良好的人際交往能力。

會計部門是每個企業(yè)的核心部門,對下要收集會計信息,對上要匯報會計信息,對內(nèi)要相互配合整理會計信息,對外要與社會公眾和政府部門搞好關(guān)系。在于各個部門各種人員打交道時一定要注意溝通方法,協(xié)調(diào)好相互間的工作關(guān)系。工作重要具備正確的心態(tài)和良好的心理素質(zhì)。記住一句話叫做事高三級,做人低三分。作為一個即將工作或剛邁入社會的新人,也要注下面是我通過這次會計實習(xí)中領(lǐng)悟到的很多書本上所不能學(xué)到的會計的特點和積累,以及題外的很多道理。

以前,我總以為自己的會計理論知識扎實較強,正如所有工作一樣,掌握了規(guī)律,照蘆葫畫瓢準沒錯,那么,當一名出色的會計人員,應(yīng)該沒問題了。現(xiàn)在才發(fā)現(xiàn),會計其實更講究的是它的實際操作性和實踐性。離開操作和實踐,其它一切都為零!會計就是做賬。

其次,就是會計的連通性、邏輯性和規(guī)范性。每一筆業(yè)務(wù)的發(fā)生,都要根據(jù)其原始憑證,一一登記入記賬憑證、明細賬、日記賬、三欄式賬、多欄式賬、總賬等等可能連通起來的賬戶。這為其一。會

第四篇:微電子實習(xí)報告

課程名稱

認識實習(xí)

課程編號

A200001A

實習(xí)地點

光電學(xué)院1101微電子工藝實驗室

實習(xí)時間

2020年11月14日

校外指導(dǎo)教師

校內(nèi)指導(dǎo)教師

王智鵬、周圍

評閱人簽字

王智鵬

成績

實習(xí)內(nèi)容

微電子工藝認識實習(xí)

一、實習(xí)目的和意義

學(xué)習(xí)光刻機原理,硅片的制作和加工,簡單MOS器件的制備

二、實習(xí)單位和崗位

重慶郵電大學(xué)

三、實習(xí)內(nèi)容和過程

實驗內(nèi)容:在2020年11月14日的下午我們班聚集在實驗室門口等待,在老師的帶領(lǐng)下我們進入實驗室并且按規(guī)矩穿好實驗服。在將近半小時的參觀下我們了解到半導(dǎo)體的制作原理。半導(dǎo)體制作原理:

圖1.1半導(dǎo)體構(gòu)造組成制造流程

半導(dǎo)體工業(yè)所使用之材料包含單一組成的半導(dǎo)體元素,如硅(Si)、鍺(Ge)(屬化學(xué)周期表上第四族元素)及多成分組成的半導(dǎo)體含二至三種元素,如鎵砷(GaAs)半導(dǎo)體是由第三族的鎵與第五族的砷所組成。在1950年代早期,鍺為主要半導(dǎo)體材料,但鍺制品在不甚高溫情況下,有高漏失電流現(xiàn)象。因此,1960年代起硅晶制品取代鍺成為半導(dǎo)體制造主要材料。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)可區(qū)分為材料加工制造、晶圓之集成電路制造(wafer fabrication)(中游)及晶圓切割、構(gòu)裝(wafer package)等三大類完整制造流程,如圖1.2所示。其中材料加工制造,是指從硅晶石原料提煉硅多晶體(polycrystalline silicon)直到晶圓(wafer)產(chǎn)出,此為半導(dǎo)體之上游工業(yè)。此類硅芯片再經(jīng)過研磨加工及多次磊晶爐(Epitaxial reactor)則可制成研磨晶圓成長成為磊晶晶圓,其用途更為特殊,且附加價值極高。其次晶圓之體積電路制造,則由上述各種規(guī)格晶圓,經(jīng)由電路設(shè)計、光罩設(shè)計、蝕刻、擴散等制程,生產(chǎn)各種用途之晶圓,此為中游工業(yè)。而晶圓切割、構(gòu)裝業(yè)系將制造完成的晶圓,切割成片狀的晶粒(dice),再經(jīng)焊接、電鍍、包裝及測試后即為半導(dǎo)體成品。

圖1.2 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)上、中、下游完整制造流程

制程單元

集成電路的制造過程主要以晶圓為基本材料,經(jīng)過表面氧化膜的形成和感光劑的涂布后,結(jié)合光罩進行曝光、顯像,使晶圓上形成各類型的電路,再經(jīng)蝕刻、光阻液的去除及不純物的添加后,進行金屬蒸發(fā),使各元件的線路及電極得以形成,最后進行晶圓探針檢測;然后切割成芯片,再經(jīng)粘著、連線及包裝等組配工程而成電子產(chǎn)品。各主要制程單元概述如下:

氧化與模附著

原料晶圓在投入制程前,本身表面涂有2μm厚的AI2O3,與甘油混合溶液保護之,晶圓的表面及角落的污損區(qū)域則藉化學(xué)蝕刻去除。

為制成不同的元件及集成電路,在芯片長上不同的薄層,這些薄層可分為四類:熱氧化物,介質(zhì)層,硅晶聚合物及金屬層。熱氧化物中重要的薄層有閘極氧化層(gate oxide;與場氧化層(field oxide),此二層均由熱氧化程序制造。以下二化學(xué)反應(yīng)式描述硅在氧或水蒸氣中的熱氧化:

Si(固體)+ O2(氣體)→SiO2(固體)

Si(固體)+ 2H2O(氣體)→SiO2(固體)+ 2H2(氣體)

現(xiàn)代集成電路程序中,以氯介入氧化劑來改善氧化層的質(zhì)量及Si-SiO2,接合面的性質(zhì)。氯包含在氯氣、氯化氫HCl或二氯乙烷中,其將Si-SiO2,接合面的雜質(zhì)反應(yīng)成揮發(fā)性氯化物,多余的氯會增加介質(zhì)的崩潰強度,減低接合面缺陷密度。介電質(zhì)附著層主要用來隔離及保護不同種類元件及集成電路。三種常用的附著方法是:大氣壓下化學(xué)蒸氣附著(CVD),低壓化學(xué)蒸氣附著(LPCVD)及電漿化學(xué)蒸氣附著(PCVD,或電漿附著)。化學(xué)蒸氣附著生成約二氧化硅并不取代熱生長的氧化層,因為后者具有較佳的電子性質(zhì)。二氧化硅層可使用不同的附著方法,其中低溫附著(300~500℃)之氧化層由硅烷、雜質(zhì)及氧氣形成。植入磷之二氧化硅的化學(xué)反應(yīng)為

SiH4+O2→SiO2+2H2

4PH3+5O2→2P2O5+6H2

于中等溫度(500~800℃)的附著,二氧化硅由四乙經(jīng)基硅,Si(OC2H5)4,在LPCVD反應(yīng)器中分解形成。其分解反應(yīng)為:

Si(OC2H5)4→SiO2+副產(chǎn)物

高溫附著(900℃),二氧化硅由二氯硅烷(SiCl2H2)與笑氣(N2O)在低壓下形成:

SiCl2H2+2N2O→SiO+2N2+2HCI

氮化硅層可用作保護元件,方可作為硅氧化作用時的遮蔽層,覆蓋不欲氧化的硅晶部分,氮化硅的附著是在中等溫度(750℃)LPCVD程序或低溫(300℃)電漿CVD程序中形成。LPCVD程序中,二氯硅烷與氨在減壓下,700~800℃間,反應(yīng)生成氮化硅附著,反應(yīng)式為:

SiCl2H2+4NH3 →Si3N4+6HCl+6H2

電漿PCVD程序中,氮化硅由硅烷與氨在氫電槳中反應(yīng)或是硅烷在放電氮氣中生成,反應(yīng)式如下:

SiH4+NH3→SiNH+3H2

2SiH4+H2→2SiNH十3H2

硅晶聚合物,或稱聚合硅,在Metal Oxide Semiconductor(MOS)元件中用作閘極接線材料;多層金屬處理中當作導(dǎo)電材料;低能階接面元件中為接觸材料。方可作為擴散來源,生成低能階接面及硅晶體的歐姆接觸。其他用途包括電容及高電阻的制作。低壓反應(yīng)器在600~650℃間操作,將硅烷熱解生成硅聚合體,反應(yīng)式如下:

SiH4→Si+2H2

金屬層如鋁及硅化物用來形成低電阻連接N+、P+及硅聚合物層的金屬接觸,及整流作用的金屬一半導(dǎo)體能障。金屬處理包含內(nèi)部聯(lián)線、歐姆接觸及整流金屬二半導(dǎo)體接觸等金屬層的形成。金屬層可用不同方法鍍上,最重要的方法為物理蒸氣附著及化學(xué)蒸氣附著,鋁與其合金以及硅化金屬為兩種最重要的金屬。在金屬處理中,化學(xué)蒸氣附著(CVD)提供相當優(yōu)良的同型階梯涵蓋層,且一次可制成大量晶圓。最新的集成電路cVD金屬附著是應(yīng)用于難熔金屬的附著。以鎢為例其熱解及還原的化學(xué)反應(yīng)式:

WF6→W+3F2

WF6+3H2→W+6HF

其他金屬如鉬(MO),鉭(Ta),及鈦(Ti)都可應(yīng)用于集成電路。這些金屬的附著皆是在LPCVD反應(yīng)器中進行下列氫還原反應(yīng):

2MCl5+5H2→2M+10HCl

M代表金屬Mo,Ta,Ti。鋁附著亦可使用有機金屬,如三異丁烷鋁:

2{(CH3)2CHCH2}3Al→2Al+3H2+副產(chǎn)物

集成電路金屬處理量最大的是鋁及其合金,因為兩者具備低電阻系數(shù)(Al為2.7μΩ-cm,合金為3.5μΩ-cm),符合低電阻的要求。硅化物如TiSi2及TaSi2,其低電阻系數(shù)(≦50μΩ-cm),且在整個集成電路程序中不失原有性質(zhì),表列出不同硅化物的電阻系數(shù)。

擴散與離子植入

擴散及離子植入是用來控制半導(dǎo)體中雜質(zhì)量的關(guān)鍵程序。擴散方法是使用植入雜質(zhì)或雜質(zhì)的氧化物作氣相附著,將雜質(zhì)原子植入半導(dǎo)體晶圓的表面附近區(qū)域。雜質(zhì)濃度由表面成單調(diào)遞減,雜質(zhì)的分布固形取決于溫度及擴散時間。離子植入程序中,雜質(zhì)是以高能呈離子束植入半導(dǎo)體中。植入雜質(zhì)的濃度在半導(dǎo)體內(nèi)存在一高峰,雜質(zhì)的分布圖形取決于離子的質(zhì)量與植入能量。離子植入程序的優(yōu)點在于雜質(zhì)量的精確控制,雜質(zhì)分布的再重整,以及低溫下操作。擴散與離子植入之比較如圖1.3所示。

雜質(zhì)的擴散基本上是將半導(dǎo)體晶圓置于熔爐中,然后以帶雜質(zhì)原子的惰性氣體通過。于硅擴散作用中,最常使用的雜質(zhì)為硼、砷及磷,這三種元素在硅中的溶解度相當高。雜質(zhì)的來源包含數(shù)種,有固體來源(BN,AS2O3及P2O3),液體來源(BBr3、AsCl3及POCl3),氣體來源(B2H6、AsH3、及PH3)。通常,以上物質(zhì)由惰性氣體(如N,)輸送至半導(dǎo)體表面而發(fā)生還原反應(yīng)。固體來源的化學(xué)反應(yīng)式如下反應(yīng)時會往硅表面形成氧化層。

2As2O3+3Si→4As+3SiO2

離子植入是將高能量之帶電粒子射入硅基晶中。半導(dǎo)體中離子植入的實際應(yīng)用改變了基晶層的電子性質(zhì)。植入雜質(zhì)濃度在1011~1016離子/cm2。雜質(zhì)濃度的表示法是半導(dǎo)體單位表面積1cm2所植入的離子數(shù)目。

采用真空蒸發(fā)鍍膜、濺射或化學(xué)汽相淀積(CVD)等方法淀積薄膜。在真空蒸發(fā)淀積時,固體蒸發(fā)源材料被放在10-5Torr的真空中有電阻絲加熱至蒸發(fā)臺,蒸發(fā)分子撞擊到較冷的硅片,在硅片表面冷凝形成約lum厚的固態(tài)薄膜。更為先進的電子束蒸發(fā)利用高壓加速并聚焦的電子束加熱蒸發(fā)源使之淀積在硅片表面。蒸發(fā)源一般為含硅量為1.2~ 2wt%的鋁硅合金。在濺射工藝中,被濺射材料稱為耙材,作為陰極,硅片作為陽極接地。腔室抽真空后充以惰性氣體,電子在電場加速下與惰性氣體碰撞產(chǎn)生惰性氣體離子和更多電子,惰性氣體離子打到耙材上時,濺射出耙原子則淀積在陽極襯底上形成薄膜。通常有直流(DC)、射頻(RF)或磁控管濺射系統(tǒng)。濺射一般在25-75*10-3Torr的氣壓下進行。化學(xué)汽相淀積(CVD)是利用在硅片附近發(fā)生氣相的化學(xué)反應(yīng)或高溫分解而在硅片上淀積一層薄膜的過程。一般CVD工藝多用于介質(zhì)膜如多晶硅、氧化硅膜或氮化硅膜等的制備,金屬膜也可采用CVD法制備。對于硅平面晶體管,經(jīng)過基區(qū)和發(fā)射區(qū)擴散后,就構(gòu)成了晶體管的管芯。但是,要成為完整可實際操作的晶體管,還必須在管芯的基區(qū)和發(fā)射區(qū)上制備歐姆接觸電極。器件生產(chǎn)中常用真空鍍膜方法來制備管芯的歐姆接觸電極。

四、實習(xí)總結(jié)與體會

總結(jié):通過將近一個小時的學(xué)習(xí)讓我們了解到了光刻機的工作原理,或許我們以前只知道光刻機是什么,但經(jīng)過這一個小時的學(xué)習(xí)我們才知道光刻機究竟是何物。光刻機研發(fā)技術(shù)雖然繁瑣,昂貴但它的意義在21世紀確實無比巨大的,也讓我了解到集成電路技術(shù)在21世紀的重要性。

五、致謝

感謝學(xué)校和老師讓我們有了這次的參觀機會,讓我們了解到我國目前的光刻機,半導(dǎo)體技術(shù)的難題,也讓我們思想得到了升華,雖然實習(xí)時間很短,但是不僅對我未來的學(xué)習(xí)有很大幫助,更重要的我感覺自己的思想高度發(fā)生了一些變化,明白了和諧的人際氛圍的重要性,知道了自學(xué)的難度以及必要性,在出現(xiàn)問題關(guān)于如何面對困難,如何解決困難我都有了一定的個人看法,學(xué)習(xí)并非單純的學(xué)習(xí),學(xué)以致用更加的重要。在實習(xí)期間的學(xué)習(xí)和總結(jié)下來的經(jīng)驗,我相信一定會為我的未來有大幫助,再次感謝學(xué)校給的這次機會以及老師的細心講解。

參考文獻:

百度百科

第五篇:微電子實習(xí)報告

實習(xí)報告

專業(yè):微電子學(xué)

年級:2010級

姓名:xx

學(xué)號:xxxxxxxxxxxxx

微電子學(xué)是研究在固體材料上構(gòu)成的微小型化電路、電路及系統(tǒng)的電子學(xué)分支。微電子專業(yè)主要研究電子或粒子在固體材料中的運動規(guī)律及其應(yīng)用,并利用它來實現(xiàn)一定的信號處理功能。微電子是一門綜合性很強的邊緣學(xué)科,包括半導(dǎo)體器件物理、集成電路工藝、集成電路及系統(tǒng)的設(shè)計、測試等多方面的內(nèi)容;涉及電磁學(xué)、量子力學(xué)、熱力學(xué)與統(tǒng)計物理學(xué)、固體物理學(xué)、材料科學(xué)、電子線路、信號處理、計算機輔助設(shè)計、測試和加工、化學(xué)等諸多領(lǐng)域。

自摩爾定律提出以來,微電子領(lǐng)域一直如神話般按其所預(yù)言的規(guī)律不斷發(fā)展。微電子行業(yè)的進步使計算機的計算能力成倍增加,硬件成本大幅度降低,極大地推動了信息產(chǎn)業(yè)和工業(yè)的發(fā)展,是現(xiàn)代信息業(yè)和工業(yè)的基礎(chǔ)。微電子專業(yè)主要培養(yǎng)掌握集成電路、微電子系統(tǒng)設(shè)計、制造工藝及設(shè)計軟件系統(tǒng),能在微電子及相關(guān)領(lǐng)域從事科研、教學(xué)、工程技術(shù)及技術(shù)管理等工作的高級專門人才。

德才兼?zhèn)涞拇髮W(xué)生不僅需要廣泛的通識教育、扎實的專業(yè)理論功底,更需要理論與實踐相結(jié)合的正規(guī)化訓(xùn)練。學(xué)校和學(xué)生個人都有義務(wù)和責(zé)任將大學(xué)生培養(yǎng)成為既有理論知識、又有實際動手能力的綜合型人才。實習(xí)是絕大多數(shù)大學(xué)生必須參與的一項實踐教學(xué)環(huán)節(jié),通過或長或短的實習(xí),學(xué)生可以更深入地了解本行業(yè)各崗位的工作性質(zhì),及該領(lǐng)域的發(fā)展狀況和發(fā)展方向,以便能結(jié)合自己的能力特點和興趣愛好,盡早尋找到適合各人的工作定位,為自己制定更長遠、更細致的職業(yè)規(guī)劃。另外,學(xué)生在實踐過程中也更易于懂得如何將理論知識與具體實際相結(jié)合,做到學(xué)以致用,不斷提升自己的創(chuàng)造能力。

在大學(xué)生活接近尾聲的時候,我們也迎來了本專業(yè)的畢業(yè)實習(xí),實習(xí)地點為北京,共歷時三日。在學(xué)院教師與輔導(dǎo)員的帶領(lǐng)下,我們班同學(xué)于5月25日下午抵達北京。短暫的休息后,次日正式開始實習(xí)。

5月26日上午,參觀北京京東方半導(dǎo)體有限公司。據(jù)悉,該公司為京東方科技集團股份有限公司的集團企業(yè)之一。京東方科技集團股份有限公司前身為北京電子管廠,經(jīng)多年的努力,京東方現(xiàn)已發(fā)展成為中國知名的顯示技術(shù)、產(chǎn)品與解決方案的題供商,中國大陸顯示領(lǐng)域最具綜合實力的高科技企業(yè),營銷和服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要地區(qū)。京東方的主要業(yè)務(wù)包括顯示器業(yè)務(wù)、顯示系統(tǒng)業(yè)務(wù)、能源與環(huán)保業(yè)務(wù)、電子材料業(yè)務(wù)、科技商務(wù)園區(qū)業(yè)務(wù)。而北京京東方半導(dǎo)體有限公司的主要經(jīng)營范圍為大、小功率高頻晶體管,半導(dǎo)體零件,金屬零件,功放模塊等,覆蓋民用、商用、軍用多個等級。工作人員分批次帶領(lǐng)同學(xué)們參觀晶體管測試區(qū),為同學(xué)們講解晶體管測試的工序及不同等級要求的差異。首次參觀半導(dǎo)體公司,同學(xué)們興趣盎然,大家都踴躍提問。

5月26日下午,參觀北京燕東微電子有限公司。燕東微電子公司是一家專業(yè)化的半導(dǎo)體器件芯片設(shè)計、制造、銷售的高科技企業(yè)。該公司是生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的前道工序生產(chǎn)廠家。此次參觀,我們從介紹人員處學(xué)習(xí)到二極管的生產(chǎn)工藝,二極管生產(chǎn)工藝包括焊接、酸洗、模壓、印字、外揀、刷檢、包裝等,每一道工序又包含多道操作流程。焊接工藝目的是利用焊片通過一定溫度,使芯片與金屬引線連接,形成歐姆接觸角;酸洗工藝是利用各種酸和水,對芯片P-N結(jié)周圍邊緣表面進行化學(xué)腐蝕,以改善機械損傷,祛除表面吸附的雜質(zhì),降低表面電場,使P-N結(jié)的擊穿首先從體內(nèi)發(fā)生,以獲得與理論值接近的反向擊穿電壓和極小的表面漏電流;模壓工藝使管芯片與外界環(huán)境隔離,避免有害氣體侵蝕,并使表面光潔和具有特定的幾何形狀,起到保護管芯、穩(wěn)定表面、固定管芯內(nèi)引線,提高二極管機械強度;印字工藝先辨別極性,再將電性分類,標示信號和商標;外揀將外觀不良品撿出,防止電性合格而外觀不合格的產(chǎn)品流入客戶處;刷檢則是對二極管電性做再次確認,提高器件的可靠性;包裝工藝按標準或要求對經(jīng)過分類包裝的產(chǎn)品進行產(chǎn)品包裝,起到便于儲存和運輸?shù)淖饔谩T诠ぷ魇业膶嶋H操作中,一些工序由機器自動完成,工序之間需要人工操作,而某些工序也由機器自動完成工序間的銜接,如刷檢與包裝工藝。

5月27日上午,參觀中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。半導(dǎo)體所在半導(dǎo)體科學(xué)的基礎(chǔ)研究和高新技術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)化方面,取得了大量的重要成果,培養(yǎng)了一批又一批優(yōu)秀科技人才,為我國科技事業(yè)的發(fā)展、國民經(jīng)濟和國防建設(shè)做出了重要貢獻。研制出中國第一只鍺晶體管、硅平面晶體管、半導(dǎo)體固體組件;研發(fā)出第一根鍺單晶、硅單晶、砷化鎵單晶;制造出第一臺硅單晶爐、區(qū)熔爐;取得一系列重大原創(chuàng)性成果。改革開放后,半導(dǎo)體所逐漸發(fā)展成為集半導(dǎo)體物理、材料、器件及其應(yīng)用于一體的半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的綜合性研究機構(gòu)。在這里我們了解到半導(dǎo)體的研究前沿和科學(xué)巨匠,也實際觀看了砷化鎵晶體的拉晶過程,以及一些先進的半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

5月27日下午,參觀中國科學(xué)院微電子研究所。中科院微電子所的前身是成立于1958年的中國科學(xué)院109廠,1986年中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微電子學(xué)部加入,合并為中國科學(xué)院微電子中心,2003年正式更名為中國科學(xué)院微電子研究所。主要研究方向有硅器件及集成技術(shù)、微細加工與新型納米器件集成、微波電路與化合物半導(dǎo)體器件、集成電路設(shè)計與系統(tǒng)應(yīng)用等。在五十多年的發(fā)展歷程中,中科院微電子所先后為我國第一臺鍺晶體管計算機、我國第一臺硅晶體管計算機、我國第一顆人造衛(wèi)星“東方紅”提供了半導(dǎo)體晶體管。取得豐碩的成果,為中國微電子技術(shù)的進步與產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出了重要貢獻。此參觀期間給我留下深刻印象和具有深遠影響的是陳寶欽研究院的一場持續(xù)兩小時的報告。陳教授在微光刻與電子束光刻技術(shù)方向整整工作了四十年,他告訴我們:“做好每一件簡單的事,就是不簡單;做好每一件平凡的事,就是不平凡”。陳教授幾乎終身專注于微光刻與電子束光刻技術(shù),但他也對很多事物都充滿興趣。從陳教授的報告中很容易感受到他對工作和生活都充滿激情,他以身踐行“做好每一件簡單事則不簡單”的人生哲學(xué)。

5月28日上午,參觀北京晨晶電子有限公司。北京晨晶電子是七星華創(chuàng)股份有限公司的子公司,主要生產(chǎn)和研發(fā)各類型的石英晶體諧振器、振蕩器和濾波器,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于載波通訊、導(dǎo)航控制、衛(wèi)星通訊、數(shù)字儀表和計算機等各種航天及國防電子設(shè)備和儀器中。晶振從功能上可分為無源晶振和有源晶振,無源晶振只是個石英晶體片,使用時需要匹配相應(yīng)的電容、電感、電阻等外圍電路才能工作,精度比有源晶振低,但它不需要電源供電,一般為二管腳封裝;有源晶振內(nèi)部含有石英晶體和匹配電容等外圍電路,精度高、輸出信號穩(wěn)定、不需要設(shè)計外圍電路,一般為四管腳封裝。石英晶振是利用石英片的壓電效應(yīng),石英片的機械形變振幅較小,晶體振動頻率比較穩(wěn)定,當外加交變電壓的頻率和晶體的固有頻率相等時,機械振動的振幅急劇增加。石英晶體以機械強度高、物理化學(xué)性能穩(wěn)定、內(nèi)損耗低等優(yōu)點被廣泛用于頻率控制和頻率選擇電路中。石英晶體諧振器由石英片、電極、基座、上蓋、導(dǎo)電膠組成。石英晶片的制作一般需經(jīng)過如下工藝流程:定角、切斷、粗磨、角度分頻、大方片切割、細磨、線切割、尺寸研磨、浸蝕、頻率分頻、最終檢驗。

5月28日上午,參觀完晨晶電子,隨后又參觀了七星華創(chuàng)電子股份有限公司旗下的微電子分公司。七星電子是一家以集成電路制造工藝技術(shù)為核心、以大規(guī)模集成電路制造設(shè)備、混合集成電路和電子元件為主管業(yè)務(wù),集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)于一體的大型綜合性高科技公司。七星電子是中國電子專用設(shè)備協(xié)會理事會長及中國電子元件協(xié)會副理事長單位,具備一流的生產(chǎn)環(huán)境、加工手段和檢測儀器,是中國最大的電子設(shè)備生產(chǎn)基地和高端電子元器件制造基地。七星電子擁有世界上較為先進的千級凈化廠房和百級裝配室,具有國際水平的美國MKS、DHI等系列標準,現(xiàn)在,公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽能、TFT、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空、電力等行業(yè)。

二十一世紀是信息時代,微電子學(xué)無可厚非是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),微電子的迅猛發(fā)展帶給人類巨大的便利,也帶來了巨大的經(jīng)濟利益。雖然基于經(jīng)典計算的計算機芯片很快就要達到物理極限、傳統(tǒng)的摩爾定律就快要失效,但微電子對人類生產(chǎn)力、推動科學(xué)技術(shù)發(fā)展所起的重要作用將被后人永遠銘記。

在此次短暫的實習(xí)中,我學(xué)習(xí)了解到晶體管、二極管的生產(chǎn)工藝、直拉法生產(chǎn)單晶硅的工序、石英晶片的制造及檢測工藝等。也見到一些先進的工藝設(shè)備,如直拉單晶爐、電子束光刻機等。我了解到半導(dǎo)體行業(yè)的工作環(huán)境和工作職責(zé),通過與工作人員的交流,我也意識到掌握扎實的理論知識在科技創(chuàng)新中的重要性,踏實工作、注重掌握先進技術(shù)對一位優(yōu)秀的工作人員至關(guān)重要。

最后要感謝學(xué)校和相關(guān)單位能為我們提供這次寶貴的實習(xí)機會,感謝帶隊的老師、輔導(dǎo)員以及各公司細心講解的員工。

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