第一篇：三軸加速度傳感器的技術原理與市場前景分析

三軸加速度傳感器的技術原理與市場前景分析

技術分類： 測試與測量| 2008-06-17

意法半導體公司模擬、功率與微機電組件產品市場經理 郁正德: EDN China

目前，隨著iPod、iPhone、Sony PS3，以及Wii等游戲和娛樂類系列消費類產品的成功和熱銷，業界普遍預測微機電系統（MEMS，Micro Electro-Mechanical System）類產品將成為半導體行業的下一個高速增長點。MEMS帶來的的操作、功耗，和尺寸上的革命性變革是其成功進入消費類電子市場的關鍵。其使更具創新性的電子產品設計成為可能，而且能給用戶帶來全新的使用體驗。

以上提到的產品中都應用了加速度傳感器作為動作操控和UI操作的接收裝置。在Wii和PS3中，加速度傳感器可以靈敏地感測游戲者的動作，并將其轉換為游戲中的虛擬人物、物品或交通工具的動作和狀態等并顯示在畫面中。iPod和iPhone中的加速度傳感器則可以根據用戶的動作而相應地對菜單進行操作，例如調整頁寬和改變內容顯示方向等。

目前3軸加速度傳感器的單位售價已降至1.5美元以下，相信在更大的需求量條件下有望突破1美元。較低的成本在以價格為主導的消費電子市場必將成為優勢之一。車身安全、控制及導航系統中的應用

加速度傳感器在進入消費電子市場之前，實際上已被廣泛應用于汽車電子領域，主要集中在車身操控、安全系統和導航，典型的應用如汽車安全氣囊（Airbag）、ABS防抱死剎車系統、電子穩定程序（ESP）、電控懸掛系統等。

目前車身安全越來越得到人們的重視，汽車中安全氣囊的數量越來越多，相應對傳感器的要求也越來越嚴格。整個氣囊控制系統包括車身外的沖擊傳感器（Satellite Sensor）、安置于車門、車頂，和前后座等位置的加速度傳感器（G-Sensor）、電子控制器，以及安全氣囊等。電子控制器通常為16位或32位MCU，當車身受到撞擊時，沖擊傳感器會在幾微秒內將信號發送至該電子控制器。隨后電子控制器會立即根據碰撞的強度、乘客數量及座椅/安全帶的位置等參數，配合分布在整個車廂的傳感器傳回的數據進行計算和做出相應評估，并在最短的時間內通過電爆驅動器（Squib Driver）啟動安全氣囊保證乘客的生命安全。除了車身安全系統這類重要應用以外，目前加速度傳感器在導航系統中的也在扮演重要角色。專家預測便攜式導航設備（PND）將成為中國市場的熱點，其主要利于GPS衛星信號實現定位。而當PND進入衛星信號接收不良的區域或環境中就會因失去信號而喪失導航功能。基于MEMS技術的3軸加速度傳感器配合陀螺儀或電子羅盤等元件一起可創建方位推算系統（DR, Dead Reckoning），對GPS系統實現互補性應用。

硬盤抗沖擊防護

目前由于海量數據對存儲方面的需求，硬盤和光驅等元器件被廣泛應用到筆記本電腦、手機、數碼相機/攝相機、便攜式DVD機、PMP等設備中。便攜式設備由于其應用場合的原因，經常會意外跌落或受到碰撞，而造成對內部元器件的巨大沖擊。

為了使設備以及其中數據免受損傷，越來越多的用戶對便攜式設備的抗沖擊能力提出要求。一般便攜式產品的跌落高度為1.2~1.3米，其在撞擊大理石質地面時會受到約50KG的沖擊力。雖然良好的緩沖設計可由設備外殼或PCB板來分解大部分沖擊力，但硬盤等高速旋轉的器件卻在此類沖擊下顯得十分脆弱。如果在硬盤中內置3軸加速度傳感器，當跌落發生時，系統會檢測到加速的突然變化，并執行相應的自我保護操作，如關閉抗震性能差的電子或機械器件，從而避免其受損，或發生硬盤磁頭損壞或刮傷盤片等可能造成數據永久丟失的情況。

消費產品中的創新應用

3軸加速度傳感器為傳統消費及手持電子設備實現了革命性的創新空間。其可被安裝在游戲機手柄上，作為用戶動作采集器來感知其手臂前后、左右，和上下等的移動動作，并在游戲中轉化為虛擬的場景動作如揮拳、揮球拍、跳躍、甩魚竿等，把過去單純的手指運動變成真正的肢體和身體的運動,實現比以往按鍵操作所不能實現的臨場游戲感和參與感。此外，3軸加速度傳感器還可用于電子計步器，為電子羅盤（3D Compass）提供補償功能，也可用于數碼相機的防抖。以上提到的種種創新應用使其成為下一代產品設計中必不可少的元件。

1．姿態與動作識別

3軸加速度傳感器的應用范圍很廣，除了文中提到的游戲動作操控外，還能用于手持設備的姿態識別和UI操作。例如借助3軸加速度傳感器，手持設備可實現畫面自動轉向。iPod Touch就內建了此功能，設備顯示的畫面和信息會根據用戶的動作而自動旋轉。其通過內部傳感器對重力向量的方向檢測來確定設備處于水平或垂直狀態，并自動調整顯示狀態，給用戶帶來方便。

傳感器對震動的感知性能也可將以前傳統的按鍵動作變化為震動，用戶可通過單次或多次震動來進行功能的選擇，如曲目的選擇、音量控制等。此外，該功能還可擴展至對用戶界面元素的操控。如屏幕顯示內容的上下左右等方向的瀏覽可通過傾斜手持設備來完成。

2．趣味性擴展功能

3軸加速度傳感器對用戶操控動作的轉變還可轉化為許多趣味性的擴展功能上，如虛擬樂器、虛擬骰子游戲，以及“閃訊”（Wave Message）等。虛擬樂器內置的加速度傳感器可檢測用戶對手持設備的揮動來控制樂器的節奏和音量等；骰子游戲也采用類似的原理，通過

對揮動等動作的感知來控制虛擬骰子的旋轉速度，并借助內部數學模型抽象的物理定律決定其停止的時間。

“閃訊”是一個更富有想象力的應用，用戶可利用此功能在空中進行文字編輯。“閃訊”即讓手持設備通過加速度傳感器捕捉用戶在空中模擬寫字的快速動作，主要適合較暗的環境下使用。手持設備上會安裝發光的LED，由于人眼視網膜的視覺暫留現象，其在空中揮動的動作會在其眼中留下短暫的連續畫面，完成寫字的所有動作筆順。

3．功耗控制

功耗一直是便攜設備設計中要考慮的重要因素，內置3軸加速度傳感器則使設備可通過檢測設備的使用狀況來對其用電模式加以控制，從而有效延長電池的使用時間。Thelma制程技術

成熟的制程技術是3軸加速度傳感器和其他MEMS產品在消費電子產品市場成功的關鍵之一。目前，為了達到產量及質量控制的嚴格要求，充分利用全球半導體產業界的制造和材料資源，以及生產流程控制經驗，MEMS類元器件大多采用標準的CMOS半導體制造技術，這樣不但能使其生產制造從規模經濟中受惠，還能讓MEMS元器件隨光照制程的微型化先進制程不斷演進和發展，產品體積更小。

然而在制程技術上，MEMS類組件的生產與其它一般芯片有所差異。早期的MEMS產品制造中多采用單晶硅為材料，和比較簡單且穩定的體型微加工（Bulk Micro-Machining）技術，缺點是制造成本較高。目前的制造技術比較接近集成電路半導體的制程，多采用多晶硅表面微加工（SuRFace Micro-Machining）科技，使成本有效降低，而且加工的精度和分辨率均更加出色。

各廠家的MEMS類元件制程技術雖然在工藝和加工設備上較類似，大都采用文中提到的CMOS制程與表面微加工技術，但為了與自身的生產制造特點相符，制造商往往會根據自己的經驗開發出其特有的生產加工平臺及相應的流程，以實現縮短生產周期、提高產品質量和降低加工成本的目的。

Thelma制程技術，即厚磊晶層（Thick Epitaxial Layer for Micro-Gyroscopes and Accelerometer）技術，是ST發展出的專有表面為加工制程，主要針對高靈敏度、高探測范圍的加速度傳感器和陀螺儀等MEMS元器件的生產加工。其通過運用深度蝕刻技術及犧牲層（Sacrificial-Layer）等理論，可在微型裝置中加工出能實現各種動作的精密機械機構。Thelma制程技術主要包含六個主要步驟：基底熱氧化、水平互連的沉積與表面圖樣化

(Patterning)、犧牲層的沉積與表面圖樣化、結構層的磊晶生長、用通道蝕刻將結構層圖樣化、以及犧牲層的氧化物去除，與接觸金屬化沉積。

多晶硅材料具有良好的耐疲勞性及抗沖擊性，且采用CMOS制程除了能帶來較低的成本、更穩定的加工流程，芯片與傳感器的功能相獨立還保證了設計上的靈活性。獨特的Thelma技術還可提供完整的鑄模封裝，使生產出的元器件具有極可靠的物理性質，能制造出最佳的制止器（Stopper），降低電極之間的靜電摩擦等風險。與傳統工藝相比較，Thelma技術可以減少芯片面積，因而克服體型微加工過程中常見的設計局限。此外，其會生長出一塊厚度約15微米（um）的多晶硅磊晶層。該硅結構在增加厚度的同時也增加了垂直表面積，因而增大平行于基底的靜電啟動器的總電容值。

加速度傳感器技術原理

MEMS換能器（Transducer）可分為傳感器（Sensor）和致動器（Actuator）兩類。其中傳感器會接受外界的傳遞的物理性輸入，通過感測器轉換為電子信號，再最終轉換為可用的信息，如加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器等。其主要感應方式是對一些微小的物理量的變化進行測量，如電阻值、電容值、應力、形變、位移等，再通過電壓信號來表示這些變化量。致動器則接受來自控制器的電子信號指令，做出其要求的反應動作，如光敏開關、MEMS顯示器等。

目前的加速度傳感器有多種實現方式，主要可分為壓電式、電容式及熱感應式三種，這三種技術各有其優缺點。以電容式3軸加速度計的技術原理為例。電容式加速度計能夠感測不同方向的加速度或振動等運動狀況。其主要為利用硅的機械性質設計出的可移動機構，機構中主要包括兩組硅梳齒（Silicon Fingers），一組固定，另一組隨即運動物體移動；前者相當于固定的電極，后者的功能則是可移動電極。當可移動的梳齒產生了位移，就會隨之產生與位移成比例電容值的改變。

如圖結構中，當運動物體出現變速運動而產生加速度時，其內部的電極位置發生變化，就會反映到電容值的變化（ΔC），該電容差值會傳送給一顆接口芯片（InteRFace Chip）并由其輸出電壓值。因此3軸加速度傳感器必然包含一個單純的機械性MEMS傳感器和一枚ASIC接口芯片兩部分，前者內部有成群移動的電子，主要測量XY及Z軸的區域，后者則將電容值的變化轉換為電壓輸出。

文中所述的傳感器和ASIC接口芯片兩部分都可以采用CMOS制程來生產，而在目前的實際生產制造中，由于二者實現技術上的差異，這兩部分大都會通過不同的加工流程來生產，再最終封裝整合到一起成為系統單封裝芯片（SiP）。封裝形式可采用堆疊（Stacked）或并排（Side-by-Side）。

手持設備設計的關鍵之一是尺寸的小巧。目前ST采用先進LGA封裝的加速度傳感器的尺寸僅有3 X 5 X 1mm，十分適合便攜式移動設備的應用。但考慮到用戶對尺寸可能提出的進一步需求，加速度傳感器的設計要實現更小的尺寸、更高的性能和更低的成本；其檢測與混合訊號單元也會朝向晶圓級封裝（WLP）發展。

下一代產品的設計永遠是ST關注的要點。就加速度傳感器的發展而言，單芯片結構自然是必然的趨勢之一。目前將MEMS傳感器與CMOS接口芯片整合的過程是最耗費成本的加工環節，如果能實現單芯片的設計，其優點不言而喻，封裝與測試的成本必然會大幅度降低。加速度傳感器選用要點

加速度傳感器針對不同的應用場景，也在特性上體現為不同的規格。用戶需根據自身的具體需要選取最適合的產品。如上文提到的汽車車身沖擊傳感器或洗衣機等家電的振動傳感器等來說，需選用高頻（50~100Hz）的加速度傳感器；對于硬盤的跌落和振動保護，需要中頻（20~50Hz）以上的加速度傳感器；而手持設備的姿態識別和動作檢測只需低頻（0~20Hz）產品即可。

線形加速度傳感器的選取還需要考慮滿量程（Full Scale，FS）、靈敏度及解析度等元件的特性。滿量程表示傳感器可測量的最大值和最小值間的范圍；靈敏度與ADC等級有關，是產生測量輸出值的最小輸入值；解析度則表示了輸入參數最小增量。

除此之外，加速度傳感器按輸出的不同還可分為模擬式和數字式兩種。其中模擬式加速度傳感器輸出值為電壓，還需要在系統中添加模數轉換（ADC）；數字式加速度傳感器的接口芯片中已經集成了ADC電路，可直接以SPI或I2C等實現數字傳輸。數字式產品在成本上也有一定優勢，因為高質量ADC通常比較昂貴，價格甚至可超過傳感器部分的單獨售價。結論

Wii憑借加速度傳感器為市場帶來前所未有的革命性的操控方式。3軸加速度傳感器為消費電子類產品，尤其是手持設備的各方面設計都帶來更多的創新性，在短期內必然會獲得市場的成功。而在未來的電子產品中，多傳感器將是一個重要的發展趨勢，其會讓電子產品在使用上更加人性化；此外，為了縮小產品尺寸和提高產品的應用價值，混合式感測器（Hybrid Sensor），如加速度傳感器與陀螺儀的集成，也必然是一個發展方向，多功能混合式傳感器必將以其較高的附加價值和用戶操控體驗占領高端市場；同時隨著技術的進步，單一功能結構的傳感器也將向低端市場推廣和普及。

第二篇：三軸加速度傳感器的步態識別系統==

三軸加速度傳感器的步態識別系統

近年來隨著微機電系統的發展，加速度傳感器已經廣泛應用于各個領域并擁有良好的發展前景。例如在智能家居、手勢識別、步態識別、跌倒檢測等領域，都可以通過加速度傳感器實時獲得行為數據從而判斷出用戶的行為情況。

目前許多智能手機都內置多種傳感器，通過預裝軟件就能夠獲得較精確的原始數據。本文提出一種基于三軸加速度傳感器，用智能手機采集用戶數據，對數據進行處理及特征提取獲得特征矩陣并分類識別的方法，有效地識別了站立、走、跑、跳四種動作。

人體動作識別處理過程主要包含數據采集、預處理、特征提取和分類器識別數據采集數據采集和發送模塊安裝在用戶端，另一個數據接收模塊接在電腦終端上。

由于我們制作的采集模塊很輕、很小，所以方便佩戴。當用戶運動時，三軸加速度傳感器會將據采集并通過無線方式發送給電腦接收模塊，再通過電腦上的軟件部分對采集到的數據進行分析處理，將結果輸出，顯示用戶的實時狀態。

本文使用的加速度傳感器數據來自于共計６０個樣本。傳感器統一佩戴于腰間。本文選取了其中一位采集者的數據用于主要分析研究，其余兩位采集者的數據則用于驗證由第一位采集者數據研究所得的結論，這樣的做法既減小了數據處理的繁雜又能保證最終結果的準確性。預處理應用程序設置的采集時間間隔為０．１ｓ，對每一個動作的采集時間為２５ｓ。考慮到用戶在采集數據一開始與將要結束時的動作不平穩可能對數據帶來較大影響，前２ｓ２ｓ采集的數據將被舍棄不予分析。因原始加速度信號一般都含有噪聲，為了提高數據分析結果的準確性，通常在原始加速度信號進行特征提取前對其進行去躁、歸一化、加窗等預處理。通過加窗處理，不僅規整了加速度信號的長度，而且方便研究人員按照需要選擇適宜的信號長度，這樣有利于后續的特征提取。

許多研究人員使所示。研究人員采集的加速度傳感器信號由于采集者的動作力度不同造成加速度信號的幅度差異較大，這會對之后的分類識別造成負面影響，歸一化技術可以調整加速度信號的幅度，按照一定的歸一化算法可以使加速度信號的幅度限定在某一數值范圍內，文獻[２]在識別跑、站立、跳和走路這四種動作時對四種動作的加速度信號進行了歸一化；文獻[３]在進行手勢識別時對手勢動作的加速度信號進行了歸一化處理。特征提取特征提取和選擇模塊的作用在于從加速度信號中提取出那些表征人體行為的特征向量，處于預處理模塊和分類器模塊之間，是人體行為識別過程中的一個重要環節，直接影響分類識別的效果。特征的提取方法具有多樣性，對于不同的識別目的，研究人員會提取不同的特征，例如為了識別分類站立和跑步，研究人員通常會選取方差和標準差這類能夠反映加速度信號變化大小的特征，而為了識別分類走路和跑步，研究人員通常會選取能量和均值這類能夠反映加速度信號大小的特征。使用不同的特征表征行為會對分類識別效果產生不同的影響，因此尋找更加有效的特征一直是研宄人員關注的一個課題。通過查閱大量的文獻，大致可以把加速度信號的特征概括為時域特征、頻域特征和時頻特征這三類本文選取了加速度的閾值作為識別不同動作的主要特征。每個加速度包含了軸的加速度信號，分別代表了前后、左右、上下這三位的加速度信號。我們都知道，人體日常行為的不同動作的劇烈程度是不相同的，動作的幅度自然不一樣。因此本文主要選取加速度的閾值作為識別不同動作的主要特征。種動作數據的其中一個窗格，每個窗格時間跨度為３ｓ。由圖個軸的加速度大小都不一樣，而每個軸的加速度大小與方向又與加速度傳感器佩戴在采集者身上的方向位置有關，因此不容易定性分析。而以合加速度的閾值作為用于主要分析的特征，則不用考慮個軸加速度的分量大小與方向，又可以使各個動作的幅值差異基于三軸加速度傳感器的人體動作識別研究（廣東第二師范學院物理系，廣東廣州５１０３０３）ＨｕｍａｎＡｃｔｉｖｉｔｙＲｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎＲｅｓｅａｒｃｈＢａｓｅｄＴｈｒｅｅ－ＤｉｍｅｎｓｉｏｎａｌＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒ

摘要：提出一種基于三軸加速度傳感器的人體動作識別方法，通過對采集到的數據進行預處理，提取多種統計特征包括標準差、閾值、偏度、峰度等進行分類識別。能夠有效地識別站立、行走、跑、跳這四種人體基本日常行為動作。

關鍵詞：人體動作識別，閾值，加速度傳感器，特征提取

Abstract：Ｉｎｐａｐｅｒ,ａｍｅｔｈｏｄａｃｔｉｖｉｔｙｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｂａｓｅｄ３Ｄａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ａｆｔｅｒｓｅｎｓｏｒｄａｔａｃｏｌｌｅｃｔｅｄ,ｐｒｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ,ｍａｎｙｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌｆｅａｔｕｒｅｓｓｔａｎｄａｒｄｄｅｖｉａｔｉｏｎ,ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ,ｓｋｅｗｎｅｓｓｋｕｒｔｏ-ｓｉｓｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ．Ｔｈｅｓｙｓｔｅｍｒｅｃｏｇｎｉｚｅｆｏｕｒｈｕｍａｎｄａｉｌｙａｃｔｉｖｉｔｉｅｓ：ｓｔａｙｉｎｇ,ｗａｌｋｉｎｇ,ｒｕｎｎｉｎｇｊｕｍｐｉｎｇ．Keywords：ｈｕｍａｎａｃｔｉｖｉｔｙｒｅｃｏｇｎｉｚｅ,ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ,ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｄａｔａ,ｆｅａｔｕｒｅｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ*２０１５國家級大學生創新創業訓練計劃項目“基于三軸加速度傳感器的人體動作識別研究資助（１４２７８１５０３７）加速度信號的加窗３１基于三軸加速度傳感器的人體動作識別研究（上接第３０參考文獻〔１〕張鐸．自動識別技術應用案例分析〔Ｍ〕．武漢：武漢大學出版社，２０１０：５６－６７〔２〕范書瑞，李琦，趙燕飛．Ｃｏｒｔｅｘ－Ｍ３嵌入式處理器原理與應用〔Ｍ〕．北京：電子工業出版社，２０１１：３４－３６〔３〕汪浩．物聯網的觸點：ＲＦＩＤ技術及專利的案例應用〔Ｍ〕．北京：科學出版社，２０１０：３３－３９〔４〕Ｗｉｋｉｐｅｄｉａ．ＧｓｍＳｔａｎｄａｒｄ：ＧＳＭ,Ｓｈｏｒｔｍｅｓｓａｇｅｐｅｅｒ－ｐｅｅｒｐｒｏｔｏｃｏｌ,ＥｎｈａｎｃｅｄＤａｔａＲａｔｅｓＧＳＭＥｖｏｌｕｔｉｏｎ,ＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔＮｅｔｗｏｒｋ[Ｍ]．ＧｅｎｅｒａｌＢｏｏｋｓＬＬＣ,２０１１：１２１－１２３〔收稿日期：２０１５．９．１〕一目了然。合加速度：ａ＝（ａ識別分類每個合加速度值以１ｇ作歸一化處理后，合加速度都是９．８的相對值，沒有了量綱。各動作的的閾值設定如圖可以清楚地看出，站立動作的閾值都低于１．２，走的動作閾值則介乎１．２１．９之間，跑的動作閾值介乎１．９２．６之間，跳的閾值則是高于２．６。基于這種動作的閾值差異與設定值，可以設定如圖的基本算法。每３ｓ導入一次數據，每次數據的時間跨度設定為一個窗格（即３ｓ）。支持向量機ＳＶＭ（ＳｕｐｐｏｒｔＶｅｃｔｏｒＭａｃｈｉｎｅ）是Ｃｏｒｔｅｓ１９９５年首先提出的，它在解決小樣本、非線性及高維模式識別中表現出許多特有的優勢，并能夠推廣應用到函數擬合等其它機器學習問題中。它是建立在統計學習理論的ＶＣ維理論和結構分險最小原理基礎上的，根據有限的樣本信息在模型的復雜性和學習能力之間尋求最佳折衷，以期獲得最好的推廣能。支持向量機對于線性不可分的情況，通過使用非線性映射算法，將低維輸入空間特性不可分的樣本轉化為高維特征空間使其線性可分，從而使得高維特征空間采用線性算法對樣本的非線性特征進行線性分析成為可能。特別在解決小樣本、非線性及高維模式識別中表現出許多特有的優勢結束語本文提出了一種基于三軸加速度傳感器的人體動作識別研究方法，通過對數據進行歸一化、加窗等預處理，提取合加速度的閾值特征，利用支持向量機進行分類識別，有效地識別了站種動作，平均識別率能達到９５％，證明了此方法的有效性。本文未來的研究工作還可以對數據的預處理進行優化，引用更多更全面的方法對數據去躁；此外，本文對數據的特征提取仍過于單一，未來可考慮引入四分位差、偏度、峰度等特征，把走再細分為上樓與下樓，設計更嚴謹的算法，充分考慮算法的實時性與準確性，提高對各種動作的識別分類。參考文獻〔１〕ＹａｎｇＰ．Ｕｓｉｎｇａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅ-ｍｅｎｔｓａｃｔｉｖｉｔｙｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎ：Ａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｅａｒｎｉｎｇａｌｇｏｒｉｔｈｍｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｎｇｎｅｕｒａｌｃｌａｓｓｉｆｉｅｒｓ[Ｊ]．Ｐａｔｔｅｒｎｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｌｅｔｔｅｒｓ,２００８,２９(１６)：６４２２１３－２２２０〔２〕ＨｅＡｃｔｉｖｉｔｙｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎｆｒｏｍａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｄａｔａｕｓｉｎｇＡＲｍｏｄｅｌｒｅｐｒｅｓｅｎｔａｔｉｏｎａｎｄＳＶＭＭａｃｈｉｎｅＬｅａｒｎ-ｉｎｇＣｙｂｅｒｎｅｔｉｃｓ,２００８ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅＩＥＥＥ,２００８,４：２２４５－２２５０〔３〕劉蓉，劉明．基于三軸加速度傳感器的手勢識別〔Ｊ〕．計算機工程，２０１１，３７（２４）：１４１－１４３〔４〕ＨｓｕＣｈｉｈ－Ｗｅｉ,ＣｈａｎｇＣｈｉｈ－Ｃｈｕｎｇ,ＬｉｎＣｈｉｈ－Ｊｅｎ．ｐｒａｃｔｉ-ｃａｌｇｕｉｄｅｓｕｐｐｏｒｔｖｅｃｔｏｒｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎＢｉｏｉｎｆｏｒｍａｔｉｃｓ,２０１０,１(１)：１－１６〔５〕吳青，趙雄．一類新樣條光滑支持向量機〔Ｊ〕．西安郵電大學學報，２０１３，１８（６）：６８－７４〔６〕徐川龍，顧勤龍，姚明海．一種基于三維加速度傳感器的人體行為識別方法〔Ｊ〕．計算機系統應用，２０１３，２２（６）：１３２－１３５〔７〕衡霞，王忠民．基于手機加速度傳感器的人體行為識別〔Ｊ〕．西安郵電大學學報，２０１４．０６．０１５〔收稿日期：２０１５．８．４〕

第三篇：雙軸加速度傳感器ADXL202及其應用設計

雙軸加速度傳感器ADXL202及其應用設計

2009年03月29日 15:08 不詳 作者：北京交通大學 翟飛 用戶評論（0）關鍵字：

引言

ADXL202是ADI公司出品的一款雙軸加速度測量系統，模擬輸入，可測量動態加速度和靜態加速度，測量范圍為±（2～10）g，輸出為周期可調的脈寬調制信號，可以直接與單片機或計數器連接。LPC2103為飛利浦公司的一款ARM7系列微控制器，主要用于工業控制、醫療系統、訪問控制、POS機、通信網關等領域。本文使用LPC2103實現對ADXL202加速度數據的采集與處理。1 ADXL202加速度傳感器

1.1 ADXL202的引腳定義及基本特性

ADXL202為單片集成電路，集成度高、結構簡單，內部包含多晶硅表面微處理傳感器和信號控制電路，以實現開環加速度測量結構。與其他加速度計相比，ADXL202可在很大程度上提高工作帶寬，降低噪聲影響，零重力偏差和溫度漂移也相對較低。圖1所示為ADXL202傳感器的引腳定義。

圖1 引腳定義

ST： 自檢，用于控制芯片自檢功能。接VDD時，輸出占空比為10%的波形，說明芯片正常工作。

COM： 引腳4、7。使用時需將2個COM端接在一起并接地。

T2： 經電阻RSET接地，調節輸出信號周期。輸出信號周期T2=RSET/（125 MΩs-1）。

VDD： 電源。工作電壓范圍為+3.0～+5.25 V，可經過100 Ω的去耦電阻接電源。

XFILT、YFILT： 經電容接地，用于改變帶寬、濾除噪聲和抑制零點漂移。

Xout、Yout: 輸出。

圖2為ADXL202傳感器的內部結構原理圖。ADXL202傳感器由振蕩器，X、Y方向傳感器，相位檢波電路以及占空比調制器組成，具有數字輸出接口和模擬電壓信號輸出接口。X、Y方向傳感器是2個相互正交的加速度傳感器，它們同時工作，可以測量動態變化的加速度和恒定的加速度。傳感器之后級連相位檢波器，主要是用來修正信號，并對信號的方向做出判斷。檢波器輸出的信號，通過一個32 kΩ 的電阻來驅動占空比調制器，通過在XFILT和YFILT 引腳外接電容CX和CY來改變帶寬。

圖2 傳感器內部結構原理圖

1.2 測量數據的計算及處理

(1)信號帶寬的計算通

過CX和CY來設定帶寬，在XFILT和YFILT引腳接上電容，通過低通濾波器來減少噪聲。3 dB帶寬的公式為：f=5 μF/C(x,y)(電容最小值為1 000 pF)(2)加速度的計算

輸出信號周期T2=RSET /(125 MΩs-1)，如圖3所示。

圖3 占空比信號

信號通過低通濾波器之后，占空比調制器把信號轉換為數字信號輸出。通過T2引腳的外接電阻可以改變T2的周期（0.5～10 ms），這很適于在精度要求不同的場合下使用。輸出的占空比信號通過計數器可以計算出占空比。加速度的計算可以通過下式得到：

a=(T1/T2-0.5)/（12.5%）

例如，當加速度為0g時，信號寬度T1與空閑寬度（T2－T1）相同，輸出信號的占空比為50％；當加速度為1g時，信號寬度T1與空閑寬度（T2－T1）的比值為5∶3，輸出信號的占空比為62.5％。1.3 ADXL202的典型應用

ADXL202傳感器最重要的應用之一是傾斜度的測量。在進行傾斜度測量時，需要讓傳感器的敏感軸（x軸）與重力方向垂直。如果與重力方向平行，物體傾斜對于加速度數據的影響可以忽略不計。圖4所示為加速度測量的原理圖。

圖4 加速度測量

當ADXL202與重力矢量垂直時，其輸出隨傾斜度的變化大約為每度17.5 mg，當兩者呈45°時，輸出變化值僅為每度12.2 mg，分辨率降低。表1為傾斜角度與加速度變化的關系。

表1 傾斜角度與加速度變化的關系 應用電路設計 2.1 硬件接口設計

LPC2103是一個支持實時仿真和跟蹤的32位ARM7TDMIS CPU，并帶有8 KB片內SRAM和32 KB嵌入的高速片內Flash內存。LPC2103具有LQFP48的較小封裝、極低的功耗、多個32位定時器、8路10位ADC、2個外部中斷、最多可達32個GPIO。通過可編程的片內PLL（可能的輸入頻率范圍：10～25 MHz）可實現最高70 MHz 的CPU 時鐘頻率。ADXL202傳感器與LPC2103的接口電路如圖5所示。

圖5 ADXL應用電路圖

ADXL202加速度傳感器的T2經125 kΩ電阻接地，可以得到信號輸出的周期為1 ms。

13、14引腳接+5 V電源，XFILT和YFILT經0.1 μF電容接地，用于設置50 Hz帶寬。兩路輸出分別與LPC2103的P0.0和P0.2引腳相接，作為數據傳輸線。數據傳輸有兩種方法，分別為普通GPIO口方式和定時器捕獲中斷方式。

2.2 普通GPIO口方式

由于傳感器輸出均為DCM信號，無論采用什么方式進行數據接收，都需要定時器/計數器工作，對DCM信號進行計時處理。因此，程序首先要對定時器進行初始化。然后分別對DCM信號的高電平和低電平持續時間進行計時，得到T1、T2的值，再進行加速度計算。由于默認情況下GPIO均為普通I/O方式，所以開始不用設置PINSEL寄存器。普通GPIO口方式程序如下： #define KEY 0x00000001//X軸加速度P0.0,前向加速度 T1PR=0;//預分頻為0，使得T1TC即為pclk個數 while((IOPIN&KEY)!=0);//下降沿或低電平跳出 while((IOPIN&KEY)==0);//上升沿或高電平跳出 T1TCR=0x03;//啟動并復位T1TC T1TCR=0x01;while((IOPIN&KEY)!=0);//下降沿跳出,等下降沿來臨 t1=T1TC;//取此時計數器的值 T1TC=0x00;//復位計數器

while((IOPIN&KEY)==0);//上升沿跳出，等待上升沿的來臨 t2=T1TC;T1TCR=0x00;//關閉定時/計數器T1 a1=(((fp32)t1/((fp32)t2+(fp32)t1))-0.5)*8;//計算加速度

普通GPIO口方式的程序比較簡單，雖然程序的執行需要時間，但由于LPC2103的主頻可以達到40 MHz，執行幾條指令只需幾微秒，所以產生的誤差會很小。但普通GPIO方式程序執行時，CPU一直在等待上升沿或下降沿的到來，大大降低了CPU的使用效率。可以使用圖5所示Xout與LPC2103的接口方式。2.3 定時器捕獲中斷方式

如圖5所示，Yout與LPC2103的P0.2引腳相接，利用P0.2的功能復用，可以實現定時器捕獲中斷方式接收傳感器數據。主要程序段如下： #define ya 0x00000004//引腳功能初始化

PINSEL0=0x00000020;//設置引腳連接為定時器0的捕獲通道0 PINSEL1=0x00000000;//向量中斷設置

VICIntSelect=0x00000000;//設置所有中斷為IRQ中斷 VICVectCntl0=0x24;//定時器0中斷為最高優先級

VICIntEnable=0x0010;//使能定時器0中斷定時器0初始化 T0PR=0;//預分頻為0，使T0TC即為pclk的個數

T0CCR=0x07;//置TIMER0的CAP0為上升、下降沿捕獲，觸發中斷 T0MR0=0xFFFFFFFF;//設置匹配值 T0TCR=0x03;//啟動并復位T0TC T0TCR=0x01;//中斷服務程序 void __irq time0(void){ T0IR = 0x10;//復位定時器中斷標志 if((IOPIN&ya)==0){ t1=T0CR0;//讀取T0TC T0TC=0x00;//復位T0TC } else if((IOPIN&ya)!=0){ t2=TOCR0;//讀取TOTC T0TC=0x00;//復位T0TC } VICVectAddr =0x00;//中斷處理結束 }

中斷處理程序運行之后，得到的信號周期應為T2=t1+t2。故加速度為(((fp32)t1/((fp32)t2+(fp32)t1))-0.5)*8。使用中斷服務程序大大提高了CPU的使用效率，但程序較為復雜，并且占用了一個中斷向量通道。結語

ADXL202傳感器的應用方法經過驗證完全可行，并且能夠達到較高的測量精度。由于集成度高，由ADXL202和ARM系列微控制器組成的系統完全可以用于汽車、火車等交通工具的安全控制系統。ADXL202在慣性導航、傾斜感應、地震監控及汽車保險等領域都有著廣泛的應用，精度高、集成度高、功耗低等特點使之完全可以取代傳統的加速度傳感器。

參考文獻

[1] 周立功.ARM微控制器基礎與實戰 [M].北京:北京航空航天大學出版社 ,2003.[2] ADI.Low Cost ±2g/10g Dual Axis iMEMS Accelerometers with Digital Output ADXL202/ADXL210 Technical Note,1999.

第四篇：傳感器原理及檢測技術

傳感器原理及檢測技術

（工程碩士）考試題

1、簡要說明非電量電測法的基本思想。

2、簡要說明傳感元件與敏感元件的作用及區別。

3、簡述現代測量系統由那幾部分組成及各部分的功能與特點。

4、何為傳感器靜態特性？靜態特性主要技術指標有哪些？何為傳感器動態特性？動態特性主要技術指標有哪些？

5、系統誤差，隨機誤差及粗大誤差產生的原因是什么？對測量結果有何影響？從提高測量精度來看，應如何處理這些誤差？

6、說明誤差的分類，以及各類誤差的性質，特點及對測量結果的影響？

7、某測量系統的頻率響應曲線H(j?)?1，若輸入周期信號1?0.05j?

x(t)?2cos10t?0.8cos(100t?300)，試求其響應y(t)。

8、有一個傳感器，其微分方程為30dy其中y為輸出電壓(mV),x?3y?0.15x。

為輸入溫度(0C)，試求傳感器的時間常數和靜態靈敏度S。

9、根據磁電式傳感器工作原理，設計一傳感器測量轉軸的轉速。要求畫出原理結構簡圖并說明原理。

10、談談你對傳感器原理及檢測技術這門課程學習的體會及建議，你認為檢測技術將來的發展方向是什么？

要求：每道題必須認真完成。

第五篇：傳感器原理與檢測技術考試題B

一、單項選擇題(每小題2分，共40分)

1．固體半導體攝像元件CCD是一種（）

A．PN結光電二極管電路B．PNP型晶體管集成電路

C．MOS型晶體管開關集成電路D．NPN型晶體管集成電路

2．差動螺線管式電感傳感器配用的測量電路有（）。

A．直流電橋B．變壓器式交流電橋

C．差動相敏檢波電路D．運算放大電路

3、在以下幾種傳感器當中（）屬于自發電型傳感器。

A、電容式B、電阻式C、熱電偶D、電感式

4、（）的數值越大,熱電偶的輸出熱電勢就越大。

A、熱端直徑B、熱電極的電導率

C、熱端和冷端的溫度D、熱端和冷端的溫差

5、熱電阻測量轉換電路采用三線制是為了（）

A、提高測量靈敏度B、減小引線電阻的影響

C、減小非線性誤差D、提高電磁兼容性

6．按照工作原理分類，固體圖象式傳感器屬于（）

A．光電式傳感器B．電容式傳感器

C．壓電式傳感器D．磁電式傳感器

7．測量范圍大的電容式位移傳感器的類型為（）

A．變極板面積型B．變極距型

C．變介質型D．容柵型

8．利用相鄰雙臂橋檢測的應變式傳感器，為使其靈敏度高、非線性誤差小（）

A．兩個橋臂都應當用大電阻值工作應變片

B．兩個橋臂都應當用兩個工作應變片串聯

C．兩個橋臂應當分別用應變量變化相反的工作應變片

D．兩個橋臂應當分別用應變量變化相同的工作應變片

9．影響壓電式加速度傳感器低頻響應能力的是（）

A．電纜的安裝與固定方式B．電纜的長度

C．前置放大器的輸出阻抗D．前置放大器的輸入阻抗

10、汽車衡所用的測力彈性敏感元件是（）。

A、實心軸B、彈簧管C、懸臂梁D、圓環

11、在熱電偶測溫回路中經常使用補償導線的最主要的目的是（）。

A、補償熱電偶冷端熱電勢的損失B、起冷端溫度補償作用

C、將熱電偶冷端延長到遠離高溫區的地方D、提高靈敏度

12、以下四種傳感器中，屬于四端元件的是）。

A、霍爾元件B、壓電晶體C、應變片D、熱敏電阻

13、下列（）不能用做加速度檢測傳感器。

A、電容式B、壓電式C、電感式D、熱電偶

14、將超聲波（機械振動波）轉換成電信號是利用壓電材料的（）。

A、應變效應B、電渦流效應C、壓電效應D、逆壓電效應

15、在實驗室中測量金屬的熔點時,冷端溫度補償采用（）。

A、冰浴法B、儀表機械零點調整法C、計算修正法D、電橋法

16.屬于傳感器動態特性指標的是()

A.遲滯B.過沖量C.穩定性D.線性度

17.傳感器能感知的輸入變化量越小，表示傳感器的()

A.線性度越好B.遲滯越小

C.重復性越好D.分辨力越高

18.下列測力傳感器中，屬于發電型測力傳感器的是()

A.自感式傳感器B.磁電感應式傳感器

C.電容式傳感器D.應變式傳感器

19．下列被測物理量適合于使用紅外傳感器進行測量的是（）

A．壓力B．力矩C．溫度D．厚度

20．屬于傳感器動態特性指標的是（）

A．重復性B．線性度C．靈敏度D．固有頻率

二、填空（每題2分，共20分）

1、已知某銅熱電阻在0℃時的阻值為5 0Ω，則其分度號是CU50，對于鎳鉻-鎳硅熱電偶其正極是鎳鉻。

2．空氣介質變隙式電容傳感器中，提高靈敏度和減少非線性誤差是矛盾的，為此實際中大都采用差動式電容傳感器

3、在壓電晶片的機械軸上施加力,其電荷產生在電軸。

4、霍爾元件采用恒流源激勵是為了克服霍爾片輸入電阻隨溫度的變化。

5．由光電管的光譜特性看出，檢測不同顏色的光需要選用陰極材料不同的光電管，以便利用光譜特性的靈敏的區段。

6．傳感器的靈敏度是指穩態標準條件下，輸出的變化量與輸入的變化量的比值。對線性傳感器來說，其靈敏度是 輸出比輸入。

7．用彈性元件和電阻應變片及一些附件可以組成應變片傳感器，按用途劃分用應變式 測力傳感器、應變式加速度傳感器等（任填兩個）。

8．采用熱電阻作為測量溫度的元件是將溫度的測量轉換為電阻的測量。

9．電容式壓力傳感器是變極板間距離型的。

10、傳感器由敏感元件、轉換元件、測量電路三部分組成。

三、問答題（本大題共4小題，每小題2.5分，共10分）

1.色譜分析儀由那幾部分夠成？

2.測量誤差按規律可分為那三種誤差？

3.簡述電磁流量儀組成及特點？

4.簡述傳感器定義。

四、根據你所學的傳感器相關知識，請分別列出下列物理量可以使用什么傳感器來測量？（本題10分）

1、加速度；

2、溫度；

3、工件尺寸；

4、壓力；

5、流量

五、推導差壓式流量計的流量公式，并解釋每一項的意義。（10分）

六、已知對某一溫度的10次測量值分別為（單位℃）:

75.0175.0475.0775.0075.03

75.0975.0675.0675.0275.08

求測量列的算術平均值、均方根誤差及算術平均值的標準偏差。（10分）