第一篇：廣工材能電材專業(yè) 《專注猜題30年

本來不打算寫這份關(guān)于薄膜的猜題資料的，但是今天上完最后的課后感覺有很多收獲，有些東西不說還是好像對不起大家，故決定用2個小時的時間給大家總結(jié)一下這個薄膜的出題意向；下面就是我今天上課時，從老師的言語猜到的東西； 首先是所有人都聽到的題型：

1、問答題：7*9=63分；

2、綜合大題：4個問=37分；

接下來就是我猜可能出的問答題：（至于為什么我認為是這樣考就不能告訴你們了）

1、真空獲得的主要工具是真空泵，請試舉出一種低真空泵和一種高真空泵，并試著分析泵的特點；（9分）

2、真空度的測量是由真空規(guī)測得的，請試舉出一種高真空規(guī)和一種低真空規(guī)，并說明其測量原理；（9分）

3、真空度對制備薄膜的作用；（9分）Page18 記得結(jié)合平均自由程；

4、什么是物理氣相沉積（PVD）法？PVD又簡單地分為哪幾種方法；而其中蒸發(fā)鍍膜法的原理是什么，蒸發(fā)鍍膜又有多少種類型，蒸發(fā)法的優(yōu)缺點，一般用于制備什么薄膜；（9分）

5、濺射鍍膜的原理和過程，優(yōu)缺點；重點要強調(diào)怎么提高氣體離化率；（9分）

6、濺射產(chǎn)額是什么？請舉出影響產(chǎn)額大小的因素（3種以上）（9分）

7、什么是CVD？其原理是？而在Si的外延生長中，所利用的熱化學過程共有3個類型，是哪三個類型，試各舉出具體的化學式；（9分）

8、LPCVD與APCVD相比有什么優(yōu)缺點；（結(jié)合邊界層的概念，加以回答）（9分）

9、什么是離子鍍，離子束成膜；其優(yōu)缺點；可以用來制備什么薄膜；（9分）

10、分子束外延的原理及特點；（重點了解Page151的GaAs的原理圖）

11、溶膠凝膠法，噴霧熱分解法的原理及特點，試舉出應用例子

以上的問答題只是本人根據(jù)老師的強調(diào)重點而命題的，僅可供參考；個人認為前8道題更加有可能出；但也不排除后3道題的可能性；

大題：老師已經(jīng)強調(diào)了只在PECVD和蒸發(fā)法中2選一；那我們只能做2手準備了； 四小題分別是：

1、畫出示意圖：

這個圖不管PECVD還是蒸發(fā)法都必須畫出來，至于離子泵就要看是否有需要加上；畫好這個圖，并標注各部分就應該有9分；

2、簡述PECVD和蒸發(fā)法的過程；（9分）

3、PECVD的原理和蒸發(fā)法的原理；（9分）

4、PECVD的優(yōu)缺點或者蒸發(fā)法的優(yōu)缺點；（10分）

至此，分析完畢；能幫到大家的就是這樣了，至于題目的答案看來就要大家一起努力了；再次聲明，僅供參考！

專注猜題30年，不為名，不為利，只為把每個人都變成胡志榮！