第一篇：渦輪分子泵的優缺點概要

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渦輪分子泵的優缺點

1、優點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任

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意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。

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(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型

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擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,萊寶真空泵

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對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

更多 如何選擇和使用渦輪分子泵 相關主題閱讀：

如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

渦輪分子泵的優缺點

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渦輪分子泵運轉時值得注意的幾個問題

1、優點

由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系

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統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設

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備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使

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用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005

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m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

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渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題

1、優點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空

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元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），萊寶真空泵

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顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設

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備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：

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d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得注意的幾個問題

1、優點

由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作

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速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速

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運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

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在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動

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速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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更多 如何選擇和使用渦輪分子泵 相關主題閱讀：

如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題

1、優點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓

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力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不

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像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。

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(1)設備費用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵

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（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問

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題。

更多 如何選擇和使用渦輪分子泵 相關主題閱讀：

如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得注意的幾個問題

1、優點

由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻

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是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力

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在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它

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存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上

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得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一

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定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題

1、優點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

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在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串

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一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

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任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態，萊寶真空泵

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最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

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要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得注意的幾個問題

1、優點

由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。

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(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～

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10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

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2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞

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和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要

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求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

更多 如何選擇和使用渦輪分子泵 相關主題閱讀：

如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得註意的幾個問題

1、優點

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由于現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖

圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和

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zxcv 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適于超高真空應用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片

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泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油

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對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。(3)噪音與振動

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從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處于平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵

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zxcv 的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行，將在下面將詳細討論這些問題。

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如何選擇和使用渦輪分子泵 結構型式與工作原理

渦輪分子泵的優缺點

渦輪分子泵運轉時值得注意的幾個問題

1、優點

由於渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優點有：(1)清潔，無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境，且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭，對於小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少幹式前級泵出現，使渦輪分子泵系統不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的幹式高真空泵（如圖4）。極限壓力為2 10-7 Pa 圖4 渦輪分子泵典型的殘餘氣體的頻譜圖

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圖4 表明渦輪分子泵系統中不含有碳氫化合物，曲線上17 和18 為OH+ 和H2O+。(2)使用方便

在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直 5 范圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限制的地方。(3)氣體輸送能力強

大多數渦輪分子泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適於超高真空下的工藝操作。對於那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用於抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用於刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子註入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由於渦輪分子泵屬於傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適於氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。(4)適於超高真空應用

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一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1 10-10～1 10-11 Torr（即13.33～1.333 nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。(5)高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3 Torr（即13.33 Pa～133.3 mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。(6)循環的時間短

多數渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3 min。對於不同品種和型號的泵有所不同。並且能立即關閉，並可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。(7)正常使用時間長

在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定

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時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

2、缺點

任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。(1)設備費用高

在抽速大於1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由於工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比，小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費來計算，二者的差別也就不大瞭，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

(2)對顆粒物或沉積物敏感

若物體（螺釘、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞，往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的，不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為瞭工作安全起見，在泵入口處裝上細孔眼的過濾網，以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物，會造成對葉片的磨損和通道堵塞，也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承，造成磨損，能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中，安裝保護措施是必要的。

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(3)噪音與振動

從使用經驗來看，泵會出現振動和噪音問題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。在正常的工作中，泵處於平靜的狀態，最大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5 所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V 的單位為 m/s，頻率的單位為Hz，計算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 為振幅 m，f 為頻率Hz，產生的最大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

圖5 渦輪分子泵的振動速度與頻率的關系(4)破碎問題

有些用戶由於害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網，破碎通常是可以避免的。

(5)暴露大氣易引起事故

任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道、閥門、密封出現問題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠傢通過試驗得出結果。擴散泵

第二篇：DNA分子標記及其優缺點

DNA分子標記種類及相應的優缺點

摘要： 對RFLP、RAPD、AFLP、SSR、ISSR 等常用的DNA 分子標記技術以及其他幾種新興的標記技術(SNP、EST 等)的原理、特點進行了綜述,并對各自的優缺點進行了探討。

關鍵詞：DNA分子標記

優缺點

分子標記是繼形態標記、細胞標記和生化標記之后發展起來的一種較為理想的遺傳標記形式,它以蛋白質、核酸分子的突變為基礎,檢測生物遺傳結構與其變異。分子標記技術從本質上講,都是以檢測生物個體在基因或基因型上所產生的變異來反映生物個體之間的差異。每一種分子標記都有其自身的特點和特定的應用范圍,但就一般意義而言,DNA 分子標記與形態標記和生化標記等相比,具有許多獨特的優點: ①不受組織類別、發育階段等影響。植株的任何組織在任何發育時期均可用于分析。②不受環境影響。因為環境只影響基因表達(轉錄與翻譯),而不改變基因結構即DNA 的核苷酸序列。③標記數量多,遍及整個基因組。④多態性高,自然存在許多等位變異。⑤有許多標記表現為共顯性,能夠鑒別純合基因型和雜合基因型, 提供完整的遺傳信息。⑥DNA 分子標記技術簡單、快速、易于自動化。⑦提取的DNA 樣品,在適宜條件下可長期保存,這對于進行追溯性或仲裁性鑒定非常有利。因此,DNA 分子標記可以彌補和克服在形態學鑒定及同工酶、蛋白電泳鑒定中的許多缺陷和難題,因而在品種鑒定方面展示了廣闊的應用前景。

1.1 第1 代分子標記

1.1.1 RFLP 標記技術。1980 年Botesin提出的限制性片段長度多態性(Restriction fragment length polymorphisms ,RFLP)可以作為遺傳標記,開創了直接應用DNA 多態性的新階段,是最早應用的分子標記技術。RFLP 是檢測DNA 在限制性內切酶酶切后形成的特定DNA 片段的大小,反映DNA 分子上不同酶切位點的分布情況,因此DNA 序列上的微小變化,甚至1 個核苷酸的變化,也能引起限制性內切酶切點的丟失或產生, 導致酶切片段長度的變化。

優點：RFLP 標記的等位基因具有共顯性的特點,結果穩定可靠,重復性好,特別適應于構建遺傳連鎖圖。

缺點：在進行RFLP 分析時,需要該位點的DNA片段做探針,用放射性同位素及核酸雜交技術,既不安全又不易自動化。另外,RFLP 對DNA 多態性檢出的靈敏度不高,RFLP 連鎖圖上還有很多大的空間區。

1.1.2 RAPD 標記技術。為了克服RFLP 技術上的缺點,Williams等于1990 年建立了隨機擴增多態DNA(Randomamplified polymorphic DNA ,RAPD)技術,由于其獨特的檢測DNA 多態性的方式使得RAPD 技術很快 滲透于基因研究的各個領域。RAPD 是建立于PCR 基礎之上的分子標記技術,基本原理是利用一個隨機引物(8～10 個堿基)通過PCR 反應非定點地擴增DNA 片段,然后用凝膠電泳分離擴增片段來進行DNA 多態性研究。對任一特定引物而言,它在基因組DNA 序列上有其特定的結合位點,一旦基因組在這些區域發生DNA 片段插入、缺失或堿基突變,就可能導致這些特定結合位點的分布發生變化,從而導致擴增產物的數量和大小發生改變,表現出多態性。

優點：與RFLP 相比,RAPD 技術簡單,檢測速度快,DNA 用量少,實驗設備簡單,不需DNA 探針,設計引物也不需要預先克隆標記或進行序列分析,不依賴于種屬特異性和基因組的結構,合成一套引物可以用于不同生物基因組分析,用一個引物就可擴增出許多片段,而且不需要同位素,安全性好。

缺點：當然,RAPD 技術受許多因素影響,實驗的穩定性和重復性差,首先是顯性遺傳,不能識別雜合子位點,這使得遺傳分析相對復雜 ,在基因定位、作連鎖遺傳圖時,會因顯性遮蓋作用而使計算位點間遺傳距離的準確性屬特異性和基因組的結構,合成一套引物可以用于不同生物基因組分析,用一個引物就可擴增出許多片段,而且不需要同位素,安全性好。當然,RAPD 技術受許多因素影響,實驗的穩定性和重復性差,首先是顯性遺傳,不能識別雜合子位點,這使得遺傳分析相對復雜 ,在基因定位、作連鎖遺傳圖時,會因顯性遮蓋作用而使計算位點間遺傳距離的準確性下降;其次,RAPD 對反應條件相當敏感,包括模板濃度、Mg2 +濃度,所以實驗的重復性差。

1.1.3 AFLP 標記技術。擴增片段長度多態技術(AFLP),又名限制片段選擇擴增技術(Selective restriction fragment amplifi2cation ,SRFA),于1993 年由荷蘭KEYGENE 公司的Zabean 和Vos 等發明,并已申請專利。AFLP 是近年來迅速發展起來的一種分子標記技術,它將基因組DNA 用成對的限制性內切酶雙酶切后產生的片段用接頭(與酶切位點互補)連接起來,并通過5′端與接頭互補的半特異性引物擴增得到大量DNA 片段,從而形成指紋圖譜的分子標記技術。AFLP 指紋呈孟德爾式共顯性和顯隱性遺傳。

優點：它兼具RAPD 與RFLP 的優點,有較高的穩定性,用少量的選擇性引物能在較短時間內檢測到大量位點,并且每對引物所檢測到的多個位點都或多或少地隨機分布在多條染色體上,各染色體上AFLP 標記的數目與染色體長度呈正相關(r = 0.501),而一對引物獲得的標記涉及的染色體數與標記數呈正相關(r = 0.826)。因此,通過少量效率高的引物組合,可獲得覆蓋整個基因組的AFLP 標記。目前,AFLP 作為一種高效的指紋技術,已在遺傳育種研究中發揮它的優勢。

缺點：不過也有研究認為,AFLP 對基因組純度和反應條件要求較高,另外用于遺傳作圖時,少數的標記與圖譜緊密度有出入。此外, 在RAPD 和RFLP 技術基礎上建立了SCAR(Sequence characterize damplified regions ,序列特異性擴增區域)、CAPS(Cleaved ampli2fied polymorphic sequence ,酶切擴增多態序列)和DAF(DNA am2plified fingerprints ,DNA 擴增指紋)等標記技術。這些技術的出現,進一步豐富、完善了第1 代分子標記技術,增加了人們對DNA 多態性的研究手段。

1.2 第2 代分子標記 1.2.1 SSR 標記技術。在真核生物基因組中存在許多非編碼的重復序列,如重復單位長度在15～65 個核苷酸的小衛星DNA(Minisatellite DNA),重復單位長度在2～6 個核苷酸的微衛星DNA(Microsatellite DNA)。小衛星和微衛星DNA 分布于整個基因組的不同位點。由于重復單位的大小和序列不同以拷貝數不同,從而構成豐富的長度多態性。Moore 等于1991 年結合PCR 技術創立了SSR(Simple sequence repeat ,簡單重復序列)標記技術。SSR 也稱微衛星DNA ,是一類由幾個(多為1～5 個)堿基組成的基序串聯重復而成的DNA 序列,其中最常見的是雙核苷酸重復,即(CA)n和(TG)n ,每個微衛星DNA 的核心序列結構相同,重復單位數目10～60 個,其高度多態性主要來源于串聯數目的不同。不同遺傳材料重復次數不同,導致了SSR 長度的高度變異性,這一變異性正是SSR 標記產生的基礎。SSR 標記的基本原理:根據微衛星重復序列兩端的特定短序列設計引物,通過PCR 反應擴增微衛星片段。由于核心序列重復數目不同,因而擴增出不同長度的PCR 產物,這是檢測DNA 多態性的一種有效方法。微衛星序列在群體中通常具有很高的多態性,而且一般為共顯性,因此是一類很好的分子標記。目前已利用微衛星標記構建了人類、小鼠、大鼠、水稻、小麥、玉米等物種的染色體遺傳圖譜。

優點：這些微衛星標記已被廣泛應用于基因定位及克隆、疾病診斷、親緣分析或品種鑒定、農作物育種、進化研究等領域。此外,SSR 標記不僅能夠鑒定純合體和雜合體,而且結果更加可靠,方法簡單,省時省力。

1.2.2 ISSR 標記技術。ISSR 即內部簡單重復序列,是一種新興的分子標記技術。1994 年Zietkiewicz 等對SSR 技術進行了發展,建立了加錨微衛星寡核苷酸(Anchored microsatellite oligo nucleotides)技術。他們用加錨定的微衛星寡核苷酸作引物,即在SSR 的5′端或3′端加上2～ 4 個隨機選擇的核苷酸,這可引起特定位點退火,從而導致與錨定引物互補的間隔不太大的重復序列間的基因組節段進行PCR 擴增。這類標記又被稱為ISSR(Inter2simple sequence repeat)、ASSR(Anchored simple sequence repeats)或AMP2PCR。在所用的兩翼引物中,可以一個是ASSR 引物,另一個是隨機引物。如果一個是5′端加錨的ASSR 引物,另一個是隨機引物,則被稱為RAMP 技術[19]。用于ISSR2PCR 擴增的引物通常為16～18 個堿基序列,由1～4 個堿基組成的串聯重復和幾個非重復的錨定堿基組成,從而保證了引物與基因組DNA 中SSR 的5′或3′末端結合,通過PCR 反應擴增SSR 之間的DNA 片段。

優點：SSR 在真核生物中的分布是非常普遍的,并且進化變異速度非常快,因而錨定引物的ISSR2PCR 可以檢測基因組許多位點的差異。與SSR2PCR 相比,用于ISSR2PCR 的引物不需要預先的DNA 測序,也正因如此,有些ISSR 引物可能在特定基因組DNA 中沒有配對區域而無擴增產物,通常為顯性標記,呈孟德爾式遺傳,且具有很好的穩定性和多態性。

1.3 第3 代分子標記

1.3.1 SNP 標記技術。單核苷酸多態性(Single nucleotide polymorphism ,SNP)被稱為第3 代DNA 分子標記,是指同一位點的不同等位基因之間個別核苷酸的差異,這種差異包括單個堿基的缺失或插入,更常見的是單個核苷酸的替換,且常發生在嘌呤堿基(A 與G)和嘧啶堿基(C 與T)之間。SNP 標記可幫助區分兩個個體遺傳物質的差異,被認為是應用前景最好的遺傳標記。目前,已有2 000 多個標記定位于人類染色體上,在擬南芥上也已發展出236 個SNP 標記。在這些SNP 標記中大約有30 %包含限制性位點的多態性。

優點：檢測SNP 的最佳方法是DNA 芯片技術,最新報道的微芯片電泳(Microchip electrophoresis),可以高速度地檢測臨床樣品的SNP ,它比毛細管電泳和板電泳的速度可分別提高10 和50倍。SNP 與第1 代的RFLP 及第2 代的SSR 標記的不同有2 個方面:其一,SNP 不再以DNA 片段的長度變化作為檢測手段,而直接以序列變異作為標記;其二,SNP 標記分析完全摒棄了經典的凝膠電泳,代之以最新的DNA 芯片技術。

1.3.2 EST 標記技術。表達序列標簽(Expressed sequence Tag , EST)是美國國立衛生研究院(National Institutes of Health ,NIH)的生物學家Venter 于1991 年提出的。隨著人類基因組計劃的開展,EST 技術首先被廣泛應用于尋找人類新基因,繪制人類基因組圖譜,識別基因組序列編碼區等研究領域,之后又被廣泛應用于植物基因組研究。EST 是指在來源于不同組織的cDNA 文庫中隨機挑選克隆、測序,得到部分cDNA 序列,一個EST對應于某一種mRNA 的cDNA 克隆的一段序列,長度一般為150～500 bp ,只含有基因編碼區域。

優點：EST可代表生物體某種組織某一時間的一個表達基因,所以被稱之為“表達序列標鑒”;而EST的數目則顯示出其代表的基因表達的拷貝數,一個基因的表達次數越多,其相應的cDNA 克隆越多,所以通過對cDNA 克隆的測序分析可以了解基因的表達豐度。目前構建cDNA 文庫一般都使用試劑盒,方法成熟,而且飛速發展的DNA 測序技術,也使得進一步降低大規模DNA 序列測定成本成為可能。展望

DNA分子標記技術的開發雖然只有短短20 年左右的歷史,但已取得了巨大的進展。分子標記技術的廣泛應用最重要的影響因素是成本與效益。隨著分子標記技術的發展, 它已接近程序化而變得易于實施。但在實踐中還有許多問題急需解決，例如如何采用更易為育種家們接受的簡便、實用的分子標記(SSR、RAPD 等)來構建新的連鎖圖,更多重要農藝性狀基因的精細定位、檢測過程自動化的實現、分子標記技術與常規育種經驗的結合等。我們相信,隨著這些問題的圓滿解決,DNA分子標記技術必然會有突破性的進展。

參考文獻：

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第三篇：車輛渦輪增壓機的優缺點

車輛渦輪增壓機的優缺點

與非增壓情況相比，增壓發動機的優點主要是同等功率下減少了發動機的質量和外形尺寸、并降低單位功率從造價；能提高熱效率、降低燃油消耗率；減少排氣污染和噪聲；對補償高原功率損失十分有利。但增壓發動機也有不少的應用難點需要值得注意，例如增壓發動機的機械負荷和熱負荷都較高，對發動機的壽命和可靠性提出了更苛刻的要求；增壓發動機對扭矩的適應性和瞬變工況的反應要比非增壓的差一些；與大型的增壓器相比，小型的渦流增壓器效率偏低，功率提升不明顯，等等。

“增壓發動機對扭矩的適應性和瞬變工況的反應要比非增壓的差一些”。這是為什么呢？因為渦輪是被發動機排除的廢氣驅動，且進氣系統增加了中冷器系統等，都會對發動機的進氣產生延遲和滯后作用，也就是說它對油門的相應時間要比非增壓的發動機的相應時間長，也就是我們說的“肉”。（增壓發動機的優缺點固然存在，但是否真的能減少交通事故，筆者持謹慎態度）。